蔡司 EVO 系列

模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用

EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗結(jié)合在一起， 同時能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學，材料科學， 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借廣泛的可選配置， EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。

• 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的多功能解決方案

• 不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

• 使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

• 對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色

• 可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

優(yōu)勢

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學，大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

優(yōu)異的圖像質(zhì)量

EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與蔡司光學顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

適合更多用戶操作

對于經(jīng)驗豐富的以及新手用戶操作都很方便

在實際的實驗室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰(zhàn)，比如學生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師，他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)。 EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求，用戶界面選項既能滿足有經(jīng)驗的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。

專家用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM

專家用戶可以獲取以及設(shè)定gao級的成像參數(shù)和分析功能。

新手用戶

優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學者。

智能導(dǎo)航與成像

大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出

蔡司導(dǎo)航相機

相機可以安裝在倉室前方， 以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機)；或安裝在真空室倉門上方 (導(dǎo)航相機)，利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學顯微鏡圖像中識別出的預(yù)定義位置， 并在整個樣品測試過程中輕松導(dǎo)航。

自動化智能成像

EVO實現(xiàn)了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域，自動生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。

將您的研究提升一個層次

使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個方面:

• 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下，有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易

• 在相等的探針電流 (信噪比) 下，光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

工作流程自動化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統(tǒng)的供應(yīng)商， 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合，使其功能能夠發(fā)揮得更好。

通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數(shù)碼）光學顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學顯微鏡*的光學對比方法與同樣*的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合，獲得互補的數(shù)據(jù)， 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理。

蔡司 SmartEDX

用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就會借助能譜儀（EDS）來采集元素化學成份的空間分布信息。

針對常規(guī)顯微分析應(yīng)用進行了優(yōu)化

SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過謹慎細致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規(guī)顯微分析應(yīng)用，尤其對于數(shù)據(jù)重復(fù)性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流（典型的EVO工作條件）下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過率, SmartEDX更適合于探測到來自輕元素的低能X射線。

工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面

SmartEDX旨在提高多用戶環(huán)境中的易用性和工作流程重復(fù)性。與其他蔡司工作流程引導(dǎo)的軟件解決方案（如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle＆Find）一樣，SmartEDX軟件易于學習，使用直觀，并有助于確保在SEM上執(zhí)行分析任務(wù)的重復(fù)性，尤其是在多個操作者使用該系統(tǒng)的環(huán)境中。

的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持

SmartEDX由蔡司提供支持，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護、保修、診斷和維修、備件物流以及整個系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負責，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。

EVO 系列真空室尺寸選擇

蔡司 EVO 應(yīng)用案例

應(yīng)用實例

生產(chǎn)與裝配企業(yè)

• 質(zhì)量分析/質(zhì)量控制

• 失效分析/金相分析

• 清潔度檢查

• 顆粒的形態(tài)和化學分析， 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標準

• 非金屬夾雜物的分析

電子半導(dǎo)體

• 目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽能電池

• 銅絲表面及晶體結(jié)構(gòu)的研究

• 金屬腐蝕研究     

• 斷面失效分析

• Wire bonding線腳檢查

• 電容表面成像

鋼鐵和其它金屬

• 對金屬樣品和夾雜物的結(jié)構(gòu)、化學和結(jié)晶學進行成像和分析

• 相、顆粒、焊縫和失效分析

原材料

• 地質(zhì)樣品的形態(tài)、礦物學和成分分析

• 對金屬、斷裂和非金屬夾雜物的結(jié)構(gòu)進行成像和分析

• 微粉化和造粒過程中原料化學成分和活性成份的形態(tài)和成分分析

材料科學研究

• 用于研究導(dǎo)電和不導(dǎo)電材料樣品的特征

生命科學

• 對植物、動物和微生物的研究

司法鑒定

• 槍擊殘留物（GSR）

• 油漆和玻璃分析

• 和硬幣偽造

• 頭發(fā)和纖維比較

• 法醫(yī)毒理學