光學(xué)光束誘導(dǎo)電流成像檢測(cè)系統(tǒng)（LBIC）是一種逐點(diǎn)非直接接觸的掃描成象，即通過(guò)激光波長(zhǎng)在半導(dǎo)體中的吸收距離和微區(qū)光電轉(zhuǎn)換，可以表征太陽(yáng)能電池微區(qū)的短路電流、表層缺陷（尺度大于0.5mm）、并聯(lián)電阻（加配Keithley電源表）、反射率、量子效率等特性參數(shù)，并通過(guò)橫向掃描（Mapping），形成這些參數(shù)的平面分布圖像，以反映其平面均勻性，尤其是晶界和位錯(cuò)分布，為太陽(yáng)能電池的結(jié)構(gòu)優(yōu)化和工藝改進(jìn)提供參考依據(jù)?？梢詮V泛應(yīng)用到單晶硅、多晶硅、非晶硅（a-Si）、碲化鎘（CdTe）、銅銦鎵硒（CIGS）、有機(jī)半導(dǎo)體、染料敏化等各種傳統(tǒng)和新型材料的太陽(yáng)能電池研究，可以廣泛應(yīng)用到GaAs、InP、GaN基陣列器件的研究?？朔舜竺娣e光照下I-V測(cè)試與單點(diǎn)光譜測(cè)試的不對(duì)應(yīng)性和不準(zhǔn)確性，并通過(guò)不同激光波長(zhǎng)對(duì)電池進(jìn)行表征，大大提高了電池及光電子器件的診斷精度。本設(shè)備物理過(guò)程清晰，可以應(yīng)用于大學(xué)科研和實(shí)驗(yàn)教學(xué)中，也可以應(yīng)用于企業(yè)的研發(fā)過(guò)程。

光學(xué)光束誘導(dǎo)電流成像檢測(cè)系統(tǒng)（LBIC）技術(shù)參數(shù)：

--樣品尺寸：Max 200200 mm2，Min 1 1 mm2

--激光波長(zhǎng)：532和980nm（可根據(jù)材料的光吸收系數(shù)而自行選配）

--激光光斑：50 mm、100mm

-- 測(cè)試電流范圍：1mA–1mA

--測(cè)試模式：LBIC mapping，LBIV mapping，Resistance mapping

-- 掃描步長(zhǎng)：0.1、0.2、0.5、1、2、4mm（可根據(jù)實(shí)際需要自定義）

-- 掃描速度：15points/s

-- 可進(jìn)行單點(diǎn)或連續(xù)掃描（mapping）測(cè)試

功能

1）特定波長(zhǎng)下短路電流逐點(diǎn)掃描成像（LBIC-Mapping），觀察逐點(diǎn)短路電流的均勻性、觀察表層缺陷（表層厚度隨波長(zhǎng)吸收長(zhǎng)度而定）

2）電壓逐點(diǎn)掃描成像（LBIV-Mapping），觀察電流的橫向擴(kuò)展?fàn)顩r及表層電阻的均勻性。

3）并聯(lián)電阻逐點(diǎn)成像，觀察電池、特別是電池邊緣電隔離狀況，反映電隔離工藝的水平。

4）反射率逐點(diǎn)掃描成像，觀察鈍化膜的減反特性以及晶粒取向?qū)p反的影響。

適用范圍：

本設(shè)備可以應(yīng)用到單晶硅、多晶硅等傳統(tǒng)材料的太陽(yáng)電池，更可以應(yīng)用到非晶硅（a-Si）、碲化鎘（CdTe）、銅銦鎵硒（CIGS）、有機(jī)、染料敏化、微納顆粒等新型材料的太陽(yáng)能電池的研究過(guò)程中，找出研究中所存在的問(wèn)題。