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中型真空等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2022-01-12 11:45:50瀏覽次數(shù)：275次

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一、工作原理：等離子表面處理是通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體

詳細(xì)介紹

一、工作原理：

等離子表面處理是通過(guò)對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。等離子與材料表面可產(chǎn)生的反應(yīng)主要有兩種，一種是靠自由基來(lái)做化學(xué)反應(yīng)，另一種則是靠等離子作物理反應(yīng)。

微電子真空等離子清洗機(jī)設(shè)備構(gòu)成