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半導(dǎo)體無塵車間如何防靜電 靜電阻抗加濕機(jī) 產(chǎn)品詳細(xì)信息:現(xiàn)在的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝發(fā)展速度很快, 芯片的精密度已經(jīng)來到3納米,繼續(xù)發(fā)展的話就是量子芯片,只有這樣才能讓我們的繼續(xù)不斷發(fā)展,半導(dǎo)體的發(fā)展方向高精密度跟高集成化。如此高的要求,因此對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求也就越來越嚴(yán)格,畢竟灰塵的直徑是微米級(jí)別的,粉塵的直徑是也在幾十幾百納米,都比現(xiàn)在的5納米、3納米的半導(dǎo)體生產(chǎn)要大,所以現(xiàn)在的半導(dǎo)體生產(chǎn)車間都是無塵車間,為的就是不給環(huán)境影響生產(chǎn)的機(jī)會(huì)。
當(dāng)然還有重要的一點(diǎn),那就是溫濕度也要控制到位, 溫度22±2℃,濕度45±5%RH。溫度控制可以通過空調(diào),濕度控制就需要根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行,因?yàn)闈穸冗^高會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體受潮,濕度過低,生產(chǎn)環(huán)境干燥會(huì)有靜電出現(xiàn),靜電放電會(huì)產(chǎn)生靜電磁場(chǎng)以及放電的巨大破壞力都會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品報(bào)廢或者是質(zhì)量下降,因此需要使用靜電阻抗加濕機(jī)來加濕空氣,消除干燥,防范靜電破壞半導(dǎo)體生產(chǎn)。
正島ZS-F5400Z智能工業(yè)加濕機(jī)及ZS系列超聲波工業(yè)加濕機(jī)是采用超聲波高頻振蕩的原理,從而達(dá)到均勻加濕的目的;具有空氣加濕、凈化、防靜電和粉塵、降溫、降塵等多種用途;既可以較大空間進(jìn)行均勻加濕,也可對(duì)特殊空間進(jìn)行局部濕度補(bǔ)償,具有較高的使用靈活性。對(duì)于其他加濕方式的加濕機(jī)而言,具有【霧化顆粒細(xì)】 、【使用能耗低】 、【霧化能效高】,【加濕速度快】的顯著優(yōu)勢(shì)。
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