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合肥智測電子有限公司


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光刻機曝光光學(xué)系統(tǒng)±0.001℃精度溫度傳感器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地合肥市

聯(lián)系方式:金先生查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-09-21 15:15:50瀏覽次數(shù):780次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:38條

所在地區(qū):安徽合肥市

聯(lián)系人:金先生 (市場部)

產(chǎn)品簡介

工作原理:利用NTC熱敏電阻在的測溫特性,電阻值隨著溫度上升而迅速下降。利用這一特性, 我們可阻通過測量NTC電阻值來確定相應(yīng)的溫度,從而達到檢測和控制溫度的目的。光刻機曝光光學(xué)系統(tǒng)±0.001℃精度溫度傳感器

詳細介紹

引言
光刻機(Mask Aligner)又名:掩模對準(zhǔn)曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
光刻機工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅膜、檢測。其中光刻機的檢測尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅膜。對刻蝕和離子注入工藝非常關(guān)鍵。正膠的堅膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會產(chǎn)生光刻膠流動。因此溫度對于光刻的成品率起著重要的決定性因素

光刻機工藝是由硅片處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影、堅膜、檢測。其中光刻機的檢測尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅膜。對刻蝕和離子注入工藝非常關(guān)鍵。正膠的堅膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會產(chǎn)生光刻膠流動。因此溫度對于光刻的成品率起著重要的決定性因素

產(chǎn)品介紹
NTC
測量模塊是一種以負溫系數(shù)熱敏電阻為感溫探頭的傳感器。NTC是合肥智測電子有限公司的一款高精度熱敏電阻測量產(chǎn)品,支持4線制熱敏 電阻測量,測量zuida阻值250KΩ,精度±0.02℃。RS485接口支持MODBUS協(xié)議,包括MODBUS RTU和MODBUS ACSII協(xié)議,NTC測量模塊采用24V直流電壓供電,提供4線制熱敏電阻溫度測量,用戶可輸入NTC 特征參數(shù),精度可達±0.02℃。模塊配備了RS485通訊接口,支持MODBUS協(xié)議,可提供 用戶二次開發(fā)。獨立的電源開關(guān)可單獨控制模塊供電。

NTC測溫模塊廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、LED、空調(diào),冰箱、冷柜、熱水器、飲水機、暖風(fēng)機、洗碗機、消毒柜、洗衣機、烘干機等家電設(shè)備上、汽車空調(diào)、水溫傳感器、進氣溫度傳感器、發(fā)動機、開關(guān)電源、UPS不間斷電源、變頻器、電鍋爐等

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