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日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series

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品牌

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所在地深圳市

更新時(shí)間:2024-05-12 07:04:16瀏覽次數(shù):1573次

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日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
該裝置是用于防止由于單晶片清潔裝置的主排氣管道中的壓力波動(dòng)而在制造過(guò)程中波動(dòng)的裝置。*開(kāi)發(fā)的氣動(dòng)橡膠膨脹閥可實(shí)現(xiàn)小尺寸且壓力損失極低的高速壓力控制。通過(guò)適當(dāng)?shù)乜刂婆艢鈮毫?,也可以適當(dāng)?shù)乜刂婆艢饬髁?,因此可以通過(guò)控制排氣管的總流量和壓力來(lái)顯著降低能量成本。

日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series

日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series

 

主要用途

  • ♦單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制
  • ♦清潔送風(fēng)室和清潔卡車室的壓力控制
  • ♦受排氣管壓力波動(dòng)影響的設(shè)備和工藝
  • ♦液晶氣刀罐排氣壓力控制
  • ♦潔凈室的排氣壓力控制

規(guī)格
可從5A開(kāi)始
物品EPS-5200EPS-5150EPS-5100
連接管口徑200A150A100A
流量范圍(一次側(cè))0.5至15 Nm3 /分鐘0.5-10 Nm3 /分鐘0.3-5 Nm3 /分鐘
如果流量小于最小流量,則可能無(wú)法達(dá)到設(shè)定壓力。
壓力損失50 Pa at 15 Nm3 / min(空氣)10 Nm3 / min時(shí)20 Pa以下(空氣)10 Nm3 / min時(shí)20 Pa以下(空氣)
控制閥連接200A管道150A水暖100A管道輸出
調(diào)整壓力范圍(一次壓力)-50至-999Pa(取決于與大氣壓和二次??壓力的壓差)
二次壓力(閥門(mén)下游壓力)(控制壓力-50)Pa以下
如果壓差小于此值,則主要調(diào)節(jié)范圍將變窄。
壓力精度滿量程的±2% 
控制紋波(穩(wěn)定控制期間的變化)滿量程的±1%(在二次壓力波動(dòng)的±10 Pa內(nèi))
耐壓(一次壓力)50kPa以內(nèi)(與大氣壓的壓差)
反應(yīng)性在2秒鐘內(nèi)達(dá)到設(shè)置的98%(典型值)
流體溫度10-50℃
主機(jī)環(huán)境溫度(精度保證溫度)15-35℃
電源電壓24V DC±10%
外部輸出壓力信號(hào):1-5V DC
報(bào)警:NPN晶體管集電極開(kāi)路DC 30V <100mA
控制器(CD-100)現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置或外部設(shè)置均可切換
外部設(shè)定信號(hào)壓力設(shè)定信號(hào):4?20mA
閥門(mén):強(qiáng)制打開(kāi),控制
(選件)控制/打開(kāi)(C / O):24V DC ON / OFF
報(bào)警信號(hào)壓差(可選設(shè)置)
身體異常(包括壓力控制器異常)
串行通訊RS485
供氣(N2)壓力0.3±0.1兆帕
每個(gè)端口Φ6mm一觸式(閥門(mén),電動(dòng)氣動(dòng)部分)
Φ4mm一鍵式(用于壓力測(cè)量)
閥門(mén)的供應(yīng)管道是可選的
氣體接觸材料PVC,Viton,EPDM
安裝姿勢(shì)自由
控制閥狀態(tài)電源關(guān)閉時(shí)保持閥狀態(tài)
 

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