該離子泵具有三種抽氣單元類型。二極離子泵抽氣單元適用于通用的超高真空等真空應(yīng)用，在這些應(yīng)用中對氫氣的抽速至關(guān)重要，并且系統(tǒng)很少排氣或發(fā)生空氣泄漏。三極離子泵抽氣單元可處理大量惰性氣體（優(yōu)于惰性氣體二極離子泵）和氫氣，對甲烷、氬氣和氦氣具有很高的抽速和容量。惰性氣體二極離子泵抽氣單元適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)

加熱器電壓	100-120/200-240 V
加熱器電源	480 W
單元類型	StarCell Noble Diode Diode
工作壽命	80000小時
抽氣口法蘭	6 英寸 CFF (NW100)
啟動壓力	≤ 5 x 10^-2 mbar
烘烤溫度	350 °C
極限真空	< 1 x 10^-11 mbar
真空高壓接頭類型	Fischer SHV
重量（只有泵時）	43 kg 94 lbs

產(chǎn)品特點

·配備三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，為不同氣體提供抽速。

·配備 ConFlat 6 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 6 英寸 ConFlat 孔、雙法蘭和側(cè)孔，可選不同方向的真空穿導件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）。

·無活動部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動運行。

·低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)。

·低磁場可大大減少系統(tǒng)干擾。

·在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性。

·可定制不同的高壓真空穿導件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求。

·SEM 版本具有低漏電流和高穩(wěn)定性，可將電子干擾降低。

·在空間有限的情況下可提供緊湊設(shè)計的泵體。

產(chǎn)品尺寸

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產(chǎn)品選型

9191512M008	VacIon Plus 150 L/s Diode離子泵	帶加熱器，220 V
9191542	VacIon Plus 150 L/s Starcell離子泵	帶加熱器，220 V
9191582	VacIon Plus 150 L/s Starcell離子泵	雙端，帶加熱器，220 V
9191552	VacIon Plus 150 L/s Diode離子泵	雙端，帶加熱器，220 V
9191512	VacIon Plus 150 L/s Diode離子泵	帶加熱器，220 V
9191542M010	VacIon Plus 150 L/s Starcell離子泵	纖巧型，帶加熱器，220 V