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北京麥迪森科技有限公司
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北京麥迪森科技有限公司
產(chǎn)品型號(hào)DN 160 CF-F（8 英寸 CFF）
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2024-01-09 10:11:50瀏覽次數(shù)：262次
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Agilent安捷倫TSP常溫屏蔽罩和低溫?fù)醢逶O(shè)計(jì)用于與 TSP泵芯結(jié)合使用。兩種產(chǎn)品都為鈦濺射提供了較大的表面積。
Agilent安捷倫TSP常溫屏蔽罩和低溫?fù)醢逶O(shè)計(jì)用于與 TSP泵芯結(jié)合使用。兩種產(chǎn)品都為鈦濺射提供了較大的表面積。如果在超高真空等真空下使用，低溫?fù)醢澹ǖ蜏卣郑┛稍谒?液氮冷卻下使用。如果不能或不希望進(jìn)行冷卻，常溫屏蔽罩可以提供比未冷卻低溫板更高的抽速。
使用常溫屏蔽罩或低溫?fù)醢迮cTSP泵芯，提高活性氣體的抽速，更快達(dá)到超高真空等真空狀態(tài)。常溫屏蔽罩可以為活性氣體提供高抽速。在非常低的壓力下，殘留氣體負(fù)荷為氫氣，當(dāng)升華鈦處于低溫罩提供的較低溫度時(shí)，氫氣的抽除效率較高。
產(chǎn)品特點(diǎn)
·低溫?fù)醢寤虺仄帘握挚蔀?TSP 的升華鈦提供更大的表面積，避免真空系統(tǒng)發(fā)生不需要的鈦膜沉積。
·用液氮冷卻時(shí)低溫?fù)醢蹇蛇_(dá)到很高性能。
·TSP低溫?fù)醢蹇稍谒鋮s或液氮冷卻下運(yùn)行。
·常溫屏蔽罩不需要冷卻。
·可與具有雙法蘭或帶側(cè)孔的離子泵集成。
·安裝在外徑 8 英寸的 ConFlat 法蘭上，還包括一個(gè)用于安裝 TSP 泵芯的 2.75 英寸 ConFlat 法蘭。
·可獨(dú)立安裝在深度/間隙為 11 英寸的任意 8 英寸 (NW 150) CFF 接口上。
·不包括 TSP 泵芯。
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品選型
9190180 | 低溫?fù)醢澹?/span>DN 160 CF-F（8 英寸 CFF） | 可單獨(dú)使用或與 VacIon CombiTSP 泵配合使用 |
9190180M001 | TSP 常溫屏蔽罩 |
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