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Scios 2 DualBeam FIB雙束電鏡

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更新時(shí)間：2021-06-29 16:31:51瀏覽次數(shù)：256次

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Scios 2 DualBeam FIB雙束電鏡

詳細(xì)介紹

Thermo Scientific Scios 2 DualBeam是一款超高分辨率分析系統(tǒng)，可為的泛類型的樣品，包括磁性和不導(dǎo)電材料提供出色的樣品制備和三維表征性能。 Scios 2 DualBeam系統(tǒng)創(chuàng)新性的功能設(shè)計(jì)，優(yōu)化了樣品處理能力、分析精度和易用性，是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)和工業(yè)環(huán)境中進(jìn)行高級(jí)研究和分析的理想解決方案。

Scios 2 DualBeam可快速輕松的定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。系統(tǒng)配備Thermo Scientific Auto Slice&View軟件，可以高質(zhì)量、全自動(dòng)地采集多種三維信息。無論是在STEM模式下以30kV來獲取結(jié)構(gòu)信息，還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息，系統(tǒng)可在泛的工作條件下提供出色的納米級(jí)細(xì)節(jié)。Scios 2 DualBeam可幫助所有經(jīng)驗(yàn)水平的用戶更快、更輕松的獲得高質(zhì)量、可重復(fù)的結(jié)果，此外，系統(tǒng)專為材料科學(xué)中挑戰(zhàn)的材料微觀表征需求而設(shè)計(jì)，配備了全集成化、極快速M(fèi)EMS熱臺(tái)，可在更接近真實(shí)環(huán)境的工作條件下進(jìn)行樣品表征。

發(fā)射源：高穩(wěn)定型肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

分辨率：
☆ 工作距離下
☆ 30 keV下STEM 0.8 nm
☆ 1 keV下1.6 nm

☆ 1 keV下電子束減速模式1.4 nm

電子束參數(shù)：
☆ 探針電流范圍：1 pA ~ 400 nA
☆ 加速電壓范圍：200 V ~ 30 kV
☆ 著陸電壓范圍：20 eV ~ 30 keV
☆ 水平視場(chǎng)寬度：7 mm WD時(shí)為3 mm，60 mm WD時(shí)為7.0 nm

☆ 導(dǎo)航蒙太奇功能，可額外增大視場(chǎng)寬度

離子光學(xué)：
的大束流Sidewinder離子鏡筒
加速電壓范圍：500 V~30 kV
離子束流范圍：1.5 pA ~ 65 nA
15孔光闌
標(biāo)配不導(dǎo)電樣品漂移抑制模式
離子源壽命至少1000 小時(shí)

離子束分辨率30 kV下3.0 nm

樣品室：
☆ 電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處（SEM 7 mm）
☆ 端口：21個(gè)

☆ 內(nèi)寬：379 mm

樣品臺(tái)：靈活五軸電動(dòng)樣品臺(tái)
☆ XY范圍：110 mm
☆ Z范圍：65 mm
☆ 旋轉(zhuǎn)：360° 連續(xù)
☆ 傾斜：-15° ~ +90°
☆ XY重復(fù)精度：3 μm
☆ 樣品尺寸，直徑110 mm，可沿X、Y軸*旋轉(zhuǎn)時(shí)
☆ 樣品高度，與優(yōu)中心點(diǎn)間隔為85 mm
☆ 樣品質(zhì)量 5 kg（包括樣品托）

☆ 同心旋轉(zhuǎn)和傾斜

樣品托：
☆ 標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品托，以*方式直接安裝到樣品臺(tái)上，可容納18個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托架（φ12mm）、3個(gè)預(yù)傾斜樣品托、2個(gè)垂直和2個(gè)預(yù)傾斜側(cè)排托架（38°和90°），樣品安裝無需工具
☆ 每個(gè)可選的測(cè)排托可容納6個(gè)S/TEM銅網(wǎng)
☆ 各種晶片和定制化樣品托可按要求提供（可選）
探測(cè)器系統(tǒng)：可同步檢測(cè)多達(dá)四種信號(hào)
☆ 樣品室二次電子探測(cè)器ETD
☆ 鏡筒內(nèi)背散射電子探測(cè)器T1
☆ 鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器T2
☆ 鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器T3（選配）
☆ IR-CCD紅外相機(jī)（觀察樣品臺(tái)高度）
☆ 圖像導(dǎo)航彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam+™
☆ 高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測(cè)器ICE
☆ 可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態(tài)背散射探測(cè)器DBS

☆ 電子束流測(cè)量

控制系統(tǒng)：
☆ 64 位操作系統(tǒng)、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)
☆ 圖像顯示：24寸LCD顯示器，顯示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自定義的GUI，可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示四幅圖像
☆ 本地語言支持
多功能控制板與Joystick操縱桿（可選）

☆ 使用Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡(jiǎn)便地制備高質(zhì)量、定位TEM和原子探針樣品；
☆ Thermo Scientific NICol 電子鏡筒可進(jìn)行超高分辨成像，滿足泛類型樣品的成像需求；
☆ 各類集成化鏡筒內(nèi)及極靴下探測(cè)器，采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像，提供最完整的樣品信息；
☆ 可選ASV4軟件，精確定位感興趣區(qū)域，獲取優(yōu)質(zhì)、多模態(tài)內(nèi)部和三維信息；
☆ 高度靈活的110 mm樣品臺(tái)和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav-Cam相機(jī)實(shí)現(xiàn)精確樣品導(dǎo)航；
☆ 專用的DCFI漂移抑制技術(shù)和Thermo Scientific SmartScan等模式實(shí)現(xiàn)無偽影成像和圖形加工；
☆ 靈活的DualBeam配置，優(yōu)化解決方案滿足特定應(yīng)用需求。