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北京歐波同
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Gatan SmartEMIC 電子束感應電流測量系統(tǒng)
品牌: GATAN | 名稱型號:Gatan SmartEMIC 電子束感應電流測量系統(tǒng) |
制造商: GATAN公司 | 經銷商:歐波同有限公司 |
免費: | : |
產品綜合介紹:
產品功能介紹
EBIC分析系統(tǒng),可以實時軟件控制全自動采集電子束感生電流(EBIC)信號,獲得EBIC圖像信息,還可以獲得IV曲線信息,最終可以測試PN結位置,寬度,少子擴散長度,材料或器件的失效點定位,廣泛應用于電子半導體領域。
品牌介紹
美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進入中國市場。GATAN公司以其產品的高性能及技術的*性在電鏡界享有*聲譽。
作的設計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商,其產品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產品應用范圍包括材料科學、生命科學、地球物理學、電子學,能源科學等領域, 客戶范圍涵蓋的科研院所,高校,各類檢測機構及大型工業(yè)企業(yè)實驗室,并且在科學研究領域得到了廣泛認同。
經銷商介紹
歐波同有限公司的微納米技術服務供應商,是一家以外資企業(yè)作為投資背景的,總部位于香港,分別在北京、上海、遼寧、山東等地設有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設備及附屬分析設備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴,公司秉承“打造國內影響力的儀器銷售品牌"的經營理念,與蔡司,GATAN品牌強強聯合,正在為數以萬計的中國用戶提供高品質的產品與技術服務。
產品系統(tǒng)特點:
高性能、地噪聲EBIC系統(tǒng),進行定量EBIC測量。界面友好的智能分析軟件運行于DigitalMicrograph軟件平臺。
用于SEM的SmartEBIC 系統(tǒng)包括:
?計算機控制的、充電電池供電的EBIC放大器
?高級EBIC樣品座(ASH),并配有可調節(jié)的鎢探針以進行臺式接觸。配以適當的Gatan適配器還可以通過空氣鎖來裝載試樣*
? 與SEM樣品臺接口
?鏈接插座及4個BNC型的電纜鏈接,低噪聲這空饋通,適于EBIC和電子束流的測量
?具有Fireware技術的DigiScan II數字電子束控制系統(tǒng)。它包括兩個模擬輸入,可同時采集攝影質量的圖像,并可靈活控制像素強度、每點駐留時間、掃描旋轉等。對于某些SEM,它還可以通過軟件通訊SEM的操作參數。
?配有*的SmartEBIC應用插件的Digital Micrography軟件,以進行定量測量、線性輪廓的實時和后處理分析
產品主要技術參數:
SmartEBIC可以對EBIC信號進行自動控制采集和定量分析:
掃描控制系統(tǒng):
1、1-, 2- or 4-比特數據采集提供了超大的動態(tài)范圍
2、從 16 x 1 至 8000 x 8000 像素掃描分辨率
3、電子束停留時間,在0.5毫秒/像素到300毫秒/像素之間可調
4、自動調節(jié)圖像顯示大小,使得EBIC實驗過程變得更方便
*5、配置Digi-Scan控制器,實時軟件控制全自動采集,可以在EBIC信號的采集時就對信號進行定量分析,無需附加的后處理,
*6、不僅獲得EBIC圖像信息,還可以獲得IV曲線信息。
噪音控制:
1. 特別設計的EBIC附屬樣品臺
2. 同軸繞線方式
3. 可重復使用的鉛酸電池 (15小時續(xù)航時間)
4. 可以改變放大器的增益,從而化數據采集的信噪比和帶寬
5. 兩種可選的一階RC濾波器 ,低通或高通濾波
6. 低漂移放大模式
7. 在與PC通訊的時間以外,系統(tǒng)的微處理器會自動切換到睡眠狀態(tài)
8. 豐富的圖像處理工具。包含銳化工具、平滑工具和傅立葉變換工具等。
9. 可以適配與Lock-in技術(本系統(tǒng)并不提供,這樣的配置系統(tǒng)將不會對EBIC信號定量分析)
追蹤:
通過軟件實現。在12bit(1.22mV)采集分辨率模時為+/-5V。
自動化:
即使在放大器參數設定欠佳的條件下,系統(tǒng)也能自動優(yōu)化圖像的顯示大小,從而提供更方便的圖像瀏覽
可以對放大器的偏移/增益進行自動設置
軟件:
流程式一維擴散長度測量
廣泛的面掃/線掃描分析工具,包括數學分析工具,濾波應用等
廣泛的圖像顯示方案選項,包括二次電子圖像與EBIC圖像的疊加
編程語言可助您為自己的實驗編寫定制化軟件
產品主要應用領域:
測試PN結位置,寬度,少子擴散長度金屬材料
材料或器件的失效點定位
測試半導體材料的位錯密度
IV特性測試
應用實例:
應用一:測試PN結位置,寬度,少子擴散長度
應用二:材料或器件的失效點定位
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