特征：
   尺寸小型化
   輕量化
   低成本方案
   電學(xué)、光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用
   發(fā)光二極管、激光二極管、PD的光強(qiáng)度和波長測(cè)量
   射頻探測(cè)
   適用于大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室
   4英寸以下晶圓的理想選擇
   側(cè)面調(diào)節(jié)吸盤
   無回差調(diào)節(jié)
規(guī)格：
   真空吸盤材質(zhì)：4英寸不銹鋼 （平整度 ± 10µm）
   吸盤調(diào)節(jié)行程：3英寸X 3英寸（精度10 µm）
   吸盤調(diào)節(jié)角度：0~30度
   吸盤：三條真空線槽對(duì)應(yīng)不同尺寸樣品
   樣品尺寸：5mm X 5mm 至 4英寸
   臺(tái)板：可容納最多6個(gè)探針座
需求：
   電力需求：220V 50Hz交流電
   真空泵：真空壓強(qiáng)-250毫米汞柱（約-33.3KPa）
尺寸：
   320mm寬X  320mm長X  400mm高（包括顯微鏡）
   凈重 20Kg，包括顯微鏡
 
附件
   吸盤推向位置（chuck stage push to position）
   真空控制的吸盤調(diào)節(jié)系統(tǒng)
   顯微鏡傾斜機(jī)構(gòu)以及準(zhǔn)確位置快速轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)
   光強(qiáng)度/波長測(cè)量適配器
   射頻探針/電纜
   有源探針
   低電流/低電容探針
   高壓探針
   超聲波切割機(jī)（cutter）
   視頻監(jiān)控
   顯微攝影
   封裝器件夾具
   PCB夾具
   液晶套件
   防振桌面
   屏蔽箱
   測(cè)試工作臺(tái)
   帶腳輪的設(shè)備箱
   吸盤真空?qǐng)D樣（Pattern）
   鍍金吸盤