鍍膜機(jī)冷阱排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空供給前提，以后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵構(gòu)成串連，以這樣的方式達(dá)成抽氣動(dòng)作。排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴(kuò)散泵三大多數(shù)構(gòu)成。機(jī)械泵：也叫前級(jí)泵，機(jī)械泵是應(yīng)用寬泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封成效并依賴機(jī)械的方法不停的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不停膨脹從而獲取真空。
鍍膜機(jī)冷阱機(jī)械泵常常被用來(lái)抽除干燥的空氣，但不可以抽除含氧量過(guò)高、有爆炸性和腐化性的氣體，機(jī)械泵一般被用來(lái)抽除永遠(yuǎn)性的氣體，可是對(duì)水氣沒(méi)有好的成效，所以它不可以抽除水氣。旋片泵中起主要作用的零件是定子、轉(zhuǎn)子等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不齊心軸，象兩個(gè)內(nèi)切圓，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片牢牢貼在定子的內(nèi)壁。它的兩個(gè)彈片交替起著雙方面的作用，一方面從進(jìn)氣口吸進(jìn)氣體，另一方面壓縮已經(jīng)吸進(jìn)的氣體，將氣體排出泵外。
轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周，泵達(dá)成兩次吸氣和兩次排氣。當(dāng)泵連續(xù)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，旋片泵不停的經(jīng)過(guò)進(jìn)氣口吸入氣體，又從排氣口不停的排出泵外，實(shí)現(xiàn)對(duì)容器抽氣的目的。為了提升泵的極限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的空隙中及有害空間里面常常保持足夠的油，把縫隙填滿，所以油一方面起到了潤(rùn)滑作用，另一方面又起了密封和擁塞縫隙及有害空間的作用，防備氣體分子經(jīng)過(guò)各樣渠道反流到壓強(qiáng)低的空間去。
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