型號：OTF-1200X-III-R5-PECVD
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積三溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)（R-PECVD），等離子增強(qiáng)系統(tǒng)的引入可在相對較低的溫度下實(shí)現(xiàn)粉末表面的包覆復(fù)合、核殼結(jié)構(gòu)制備等工藝過程。自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集，包含射頻電源（帶自動匹配功能）、四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)及真空泵系統(tǒng)，可由PLC觸摸屏或PC電腦控制，使用方便快捷。
| 設(shè)備名稱 | 1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) （2019.10.31-科晶實(shí)驗(yàn)室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 爐體在0 - 25°內(nèi)傾斜，有利于粉末樣品的裝卸； ? 齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性； ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控； ? 配備自動進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數(shù) | 三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐 ? 溫度：1200℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1100℃； ? 三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 輸入功率：208-240 V，單相，功率：4 KW； ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗； ? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：2-10 rpm； ? 爐體開啟式設(shè)計(jì)以達(dá)到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 設(shè)備尺寸：2800mm L× 800mm W×1700mm H ? 供氣系統(tǒng)：600mm L×700mm W×700mm H ? 凈重：180 kg
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
環(huán)保在線