型號：OTF-1200X-80-II-F3LV
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用雙旋片機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，可以混合1-3種氣體，其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
| 殼體結(jié)構(gòu) | · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽 |
| 功率 | 2.5 KW |
| 電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| 工作溫度 | 1200 ℃ |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100 ℃ |
| 升溫速率 | ≤20 ℃ /min |
| 爐管尺寸和材質(zhì) | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加熱區(qū)長度 | · 兩個加熱區(qū): 每個溫區(qū)200 mm (8") 總加熱區(qū)長度400 mm |
| 溫度控制器 | · 兩個精密的溫度控制器，單獨(dú)的控制兩個溫區(qū) · PID方式控制,通過PWM固體繼電器 · 30 可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，可設(shè)置30段升降溫程序 · 帶有過熱和斷偶保護(hù) 控溫儀表操作視頻 |
| 控溫精度 | +/- 1 ℃ |
| 真空密封系統(tǒng) | · 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上有KF-25接口和法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表（圖片中的藍(lán)表為選配)閥門 · 真空度：通過機(jī)械泵真空度可以達(dá)到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr)，如想獲得更高的真空度可以采用分子泵，真空度可以達(dá)到10-5 torr. ·泄漏率< 5 m-torr/min(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
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| 真空泵 | 采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。 |
| 防腐型真空計 | 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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| 混氣系統(tǒng) | · 3個浮子流量計安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 · 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. · 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. · 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來監(jiān)測混合氣體的壓力 |
| 閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝移動架的側(cè)面板上分別在三個氣體的入口處 |
| 尺寸 | · 爐子: 550 x 380 x 520 移動架: 600x600x597 |
| 開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計
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| 凈重 | 約60KG |
| 運(yùn)輸重量 | 600 lbs |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | · CE認(rèn)證 · 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認(rèn)證 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 使用注意事項 | · ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · ·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · ·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · ·石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ·對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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