等離子體分析飛行時(shí)間質(zhì)譜儀
PP-TOFMS用于多鍍層固體材料中所有元素及同位素的深度剖析。從而實(shí)現(xiàn)摻雜分析、表明和整體污染鑒定、界面監(jiān)測(cè)以及腐蝕研究。等離子體分析飛行時(shí)間質(zhì)譜儀的深度分辨率達(dá)1nm,可檢測(cè)靈敏度從ppm到亞ppm。
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