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AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測系統(tǒng)阿瑞斯-µVOC

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更新時(shí)間：2024-03-13 20:04:07瀏覽次數(shù)：260次

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北京杜克泰克科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

詳細(xì)介紹

AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測系統(tǒng) 阿瑞斯-µVOC

AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測系統(tǒng) 阿瑞斯-µVOC

概述：

醋酸、草酸、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機(jī)物。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達(dá)到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會引起一系列嚴(yán)重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產(chǎn)機(jī)臺加工

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴(kuò)散，并且成份的增加，分子污染物來自多個(gè)源頭，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。

阿瑞斯-µVOC系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。

工作原理：

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化，從而確定不同組份的濃度，的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測限。

亮點(diǎn)：

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)
低濃度VOC監(jiān)測
獨(dú)立分開測量有機(jī)物成份
Sub-ppb檢測限
集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

技術(shù)參數(shù)：

特性
工作原理:		氣相色譜
測量量程:		0-200ppb
準(zhǔn)確度：		2%
尺寸 (HxWxD)：		160 cm x 60 cm x 80 cm
防護(hù)等級：		Nema 12 或IP54不銹鋼外殼
工作溫度:		10°C—35 °C
通訊:		RS-232, Ethernet, ODBC
電源:		230 Vac, 50/60 Hz 900W
供氣要求:		CDA 5 l/min H2 130 sccm (可選H2發(fā)生器)
采樣通道:		高達(dá)16
分辨率：		0.1ppb
測量組分：		高達(dá)30, 客戶可定制
可測組分
2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH	（t-乙酸丁脂）二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH
2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH	六甲基二硅胺烷（CH3）3SiNHSi(CH3)3
異丙醇（CH3）2CHOH	二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH
乙醇胺 H2NCH2CH2OH	鄰苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2
環(huán)己胺 C6H11NH2	鄰苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2
環(huán)聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n	鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2
對二氯苯 ClC6H4Cl	三乙胺（C2H5）3N
鄰苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2	鄰苯二甲酸二環(huán)己酯 C6H4(C=OOC6H11)2
鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2	磷酸三乙酯（C2H5O）3P=O
十甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5	十二甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6
二甲苯 (CH3)2C6H4	三甲酚磷酸酯（CH3C6H4O）3P=O
三甲基硅醇 C3H10OSi	三甲酚磷酸酯（CH3C6H4O）3P=O