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AMC空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)獵戶座3100S

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實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類(lèi)微量污染物的影響，對(duì)很多微量污染物極為敏感，比如氨氣或者酸性氣體都會(huì)給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來(lái)極大的危害，盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，而實(shí)際上空氣分子污染（AMC）的實(shí)時(shí)測(cè)量對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的好壞至關(guān)重要。

詳細(xì)介紹

AMC空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 獵戶座3100S

AMC空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

獵戶座3100S

概述：

光刻工藝潔凈室內(nèi)痕量級(jí)NH₃,HCL,HF等氣體的超高靈敏度、實(shí)時(shí)測(cè)量

獵戶座3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)連續(xù)分析儀器，將增加半導(dǎo)體器件阻抗一致性、保證更長(zhǎng)的過(guò)濾器壽命、減少生產(chǎn)過(guò)程的停工時(shí)間。

DUKE HMI（人機(jī)交互界面）軟件可以實(shí)時(shí)觀察、實(shí)時(shí)測(cè)量、實(shí)時(shí)操作對(duì)不同空間不同位置的NH3、HCL、HF進(jìn)行分析，軟件專門(mén)針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)，對(duì)于深紫外光刻工藝過(guò)程中監(jiān)測(cè)與控制空氣分子污染（AMC）提供有力的支持，軟件集成了多點(diǎn)采樣（MS）控制功能，具有實(shí)時(shí)顯示數(shù)據(jù)曲線、報(bào)警、存儲(chǔ)、趨勢(shì)、歷史曲線、分析等功能。

獵戶座3100S 系統(tǒng)：

完善的空氣分子污染（AMC）監(jiān)測(cè)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染（AMC）對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程極為重要?？焖俦O(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。

深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺類(lèi)、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸類(lèi)等濃度測(cè)量，當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大光刻膠反生反應(yīng)時(shí)，將深深的影響半導(dǎo)體器件質(zhì)量。

傳統(tǒng)古老的方法多采用間接測(cè)量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過(guò)程太復(fù)雜，昂貴并且測(cè)量結(jié)果不精確。

DUKE采用被證明的CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)解決AMC（空氣分子污染物）監(jiān)測(cè)難題，可快速測(cè)量痕量級(jí)NH3、HCL、HF，采用脈沖熒光法測(cè)量SO2，采用增強(qiáng)型GC-FID測(cè)量VOCs。

獵戶座 3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)測(cè)量痕量級(jí)NH3、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性，是半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室AMC（空氣分子污染）測(cè)量的有力工具。

獵戶座 3100S也集成了多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可依序?qū)怏w抽送到分析儀或傳感器，并讀出測(cè)量結(jié)果。獵戶座 3100S內(nèi)嵌的報(bào)警、報(bào)告、分析軟件是由多年半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開(kāi)發(fā)。

獵戶座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模擬模塊可以輸出來(lái)自4~6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。

每臺(tái)分析儀配有內(nèi)置計(jì)算機(jī)（Linux OS），可進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)輸出，還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制，通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)可以連接DUKE公司總部或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷(xiāo)商服務(wù)商，進(jìn)行操作或者診斷。

使用者可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯(lián)網(wǎng)的地方進(jìn)行操作，遠(yuǎn)程操作可實(shí)現(xiàn)多級(jí)管理權(quán)限控制和操作。

優(yōu)勢(shì)：

儀器基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)，極簡(jiǎn)使用、便捷操作，所有部件（包括內(nèi)置真空泵、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、顯示器等）幾分鐘內(nèi)可開(kāi)始記錄數(shù)據(jù)，其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會(huì)對(duì)HCL、HF、NH3等測(cè)量構(gòu)成交叉干擾。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可以存儲(chǔ)大量數(shù)據(jù)到內(nèi)置硬盤(pán)上，可同過(guò)數(shù)字接口或者模擬接口傳輸數(shù)據(jù)，可通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲(chǔ)或記錄數(shù)據(jù)，高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫(kù)，適合于苛刻的半導(dǎo)體痕量級(jí)氣體應(yīng)用。

原理：

基于CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)的儀器原理圖，使用近紅外波段光進(jìn)行高靈敏度吸收測(cè)量，測(cè)量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構(gòu)成，激光束經(jīng)過(guò)固態(tài)校準(zhǔn)器（FSR=2.00GHz）時(shí)會(huì)測(cè)量得到相對(duì)激光波長(zhǎng)。為了保證清晰度，忽略了原本照射到左側(cè)測(cè)量單元腔鏡外的光束。

EP增強(qiáng)型版本集成了壓力傳感器和內(nèi)部溫度控制器，具有超穩(wěn)定性測(cè)量腔室，防止溫度漂移、壓力變化等造成的誤差。

CEAS（腔增強(qiáng)吸收光譜）相比于代的CRDS（腔衰蕩光譜）技術(shù)，有許多已被證明的優(yōu)勢(shì)。簡(jiǎn)而言之，激光束不需要共振耦合進(jìn)入測(cè)量腔室（例如光束不需要嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)）。DUKE分析儀器和系統(tǒng)具有安裝簡(jiǎn)單、機(jī)械牢固、防護(hù)結(jié)實(shí)等特點(diǎn)。

特性：