產(chǎn)品介紹
Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點，進一步提高性能，1kV減速模式下分辨率達到了0.8nm，15kV達到0.7nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。
產(chǎn)品特性：
1. 配備加速電壓減速功能，優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可達0.8nm
2. 日立E×B技術(shù)，無需噴鍍，可直接觀測不導(dǎo)電樣品
3. 配備電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
4. SE與BSE任意比例搭配功能
樣品：AlTiC基板
加速電壓：1kV
倍率：2萬倍
產(chǎn)品應(yīng)用：
1、 納米材料；
2、 半導(dǎo)體器件；
3、 高分子材料；
4、 生物醫(yī)學(xué)；
5、 新能源；
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