技術(shù)應用鏈接:
Tetra 3600 PC | 特殊設(shè)
開關(guān)柜：寬 3000 mm、高 1800 mm、深 1500 mm
腔室：寬 2500 mm、高 1200 mm、深 1200 mm
處理幅寬：2000mm
卷軸直徑：127mm
卷軸外徑：300mm
腔室容積：約 3600升
氣體供給：通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發(fā)生器：1 個 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系統(tǒng)：配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
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關(guān)鍵詞:
Diener
Tetra3600
等離子表面處儀
未找到相應參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
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