技術(shù)應(yīng)用鏈接:
特點(diǎn)
· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理
· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
· 10.5L腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· ８” Wafer去膠清洗
技術(shù)規(guī)格：
型號(hào) | ATTO | ATTO PCCE | |
控制系統(tǒng) | 手動(dòng)控制 | PCCE 控制系統(tǒng) | |
工藝氣路 | 雙路氣體 | ||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | ||
單體導(dǎo)入 | H2O等單體（選配） | ||
流量計(jì) | 針閥流量計(jì) | MFC流量計(jì) | |
真空 腔體 | 材質(zhì) | 高硼硅玻璃腔體，蓋子門帶觀察窗(石英，鉸鏈門選配) | |
內(nèi)尺寸(Dia.×D) | 211×300mm | ||
容積 | 10.5L | ||
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | ||
發(fā)生器*
| 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W | ||
真空壓力計(jì) | 指針式壓力計(jì)（選購(gòu)） | 皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì) | |
計(jì)時(shí)器 | 旋鈕式（選購(gòu)） | 數(shù)字式 | |
托盤 | 高硼硅玻璃（石英選配）W200xD260xH5mm | ||
外形尺寸（WXDxH）mm | 525x450xD450 | ||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排氣速度8m3/H | ||
關(guān)鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
ATTO
未找到相應(yīng)參數(shù)組，請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加
環(huán)保在線