K&S ARIS TT系列專(zhuān)為精密儀器設(shè)計(jì)的桌面主動(dòng)減震臺(tái)，易與安裝的流線(xiàn)型設(shè)計(jì)，更方便定位的獨(dú)立支撐模塊，安裝過(guò)程無(wú)需復(fù)雜的調(diào)校。有工程師，物理學(xué)家及精密儀器領(lǐng)域內(nèi)的專(zhuān)家顧問(wèn)共同研發(fā)顯著的降低了環(huán)境震動(dòng)帶來(lái)的干擾，使它成為精密儀器的配置。

　 特殊內(nèi)置振動(dòng)篩模式，確保精密儀器在不同場(chǎng)合的性能，可調(diào)整不同頻率和振幅，模擬真實(shí)環(huán)境條件。驗(yàn)證精密機(jī)器內(nèi)部部件對(duì)振動(dòng)的響應(yīng)，采用壓電陶瓷傳感器，精密控制對(duì)精密儀器內(nèi)部共振的影響自適應(yīng)對(duì)振動(dòng)調(diào)整，提供給掃描電子顯微鏡更佳的工作狀態(tài)及分辨率。

臺(tái)式掃描電鏡主動(dòng)減震臺(tái)技術(shù)指標(biāo)：

隔振性能: 8dB gain on 1Hz(60-70%)

20dB gain on 2Hz(≥90%)

隔振自由度： 6個(gè)自由度

響應(yīng)時(shí)間： ≤0.01Sec

隔振性能： 0.5-100Hz

模塊尺寸： 230×270×75mm

承載重量： 15-200kg

臺(tái)式掃描電鏡主動(dòng)減震臺(tái)平面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，根據(jù)設(shè)備尺寸及負(fù)載選擇合適型號(hào)，減震端子獨(dú)立工作，更加靈活，穩(wěn)定性更高，當(dāng) R M S小于4 5μm時(shí)，2 H z以上減震效果大1 0倍；減震器行程更長(zhǎng),壓電陶瓷在1 0 H z時(shí)＜2 0 0μm ( P - P ) .安裝無(wú)需起重設(shè)備，直接放置于設(shè)備下方，減震臺(tái)的高度尺寸8 0 m m。

SEM/AFM顯微鏡主動(dòng)隔振解決方案