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雙溫區(qū)CVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)S-1400PC

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更新時(shí)間：2022-02-12 10:15:53瀏覽次數(shù)：437次

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河南熱處理設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

雙溫區(qū)PECVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1400度,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：
1400度雙溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備由滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，溫度可以達(dá)到1400度，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)，可以對(duì)多種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
滑動(dòng)式快速退火管式爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌，可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/m。為取得加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。
產(chǎn)品用途：
1400度雙溫區(qū)cvd實(shí)驗(yàn)室設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
產(chǎn)品參數(shù)：