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無塵室有五個(gè)特性

時(shí)間:2022-9-18閱讀:54
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無塵室有五個(gè)特性 :
  (l)耐久性;(2)成本; (3)適應(yīng)性; (4)可維護(hù)性;(5)清洗 。

  (1) 耐久性:

  無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無塵室等級(jí)來建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。

  (2) 清洗:

  在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在 biotech 市場(chǎng),清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。

  (3) 成本:

  微電子 C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。fab 能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。 許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。

  (4) 適應(yīng)性:

  一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢,而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將最初的設(shè)計(jì)定型。

  (5) 維護(hù)性:

  對(duì)無塵室 C/R 而言,較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問題,對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板,其包含 HEPA 及  ULPA 等濾網(wǎng),其可過濾掉房間的微粒子,且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要,便其分開來,供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間,曾有人說 :若建造之預(yù)算因某種原因被限制,除了少數(shù)的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子,故其設(shè)計(jì)必須精確。[1]
  許多了解無塵室的人都贊同,次擁有無塵室的擁有者,應(yīng)使用較好之C/R 建筑或工程設(shè)計(jì)公司或了解建筑 C/R 設(shè)計(jì)之建筑承包商若假設(shè)他們不了解, 則必會(huì)浪費(fèi)一大筆不必要花的錢,故選擇一建造C/R 的公司也是非常重要的。

  對(duì) C/R 而言,其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會(huì)引起塵埃,而太軟的地板會(huì)造成地板彎曲甚致破裂,但并不是所有 C/R 的地板,都會(huì)覆蓋,乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式,而全面層流都是沖孔式。

  乙烯基有一作用即脫氧,但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會(huì)有減低脫氧的效果,而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會(huì)非常昂貴,但鋁卻可以保護(hù)墻面不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表面增厚,不易氧化,再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

  對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言,無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備,其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格,故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸,而清除地板所用者大部分為消品及化學(xué)藥品,當(dāng)我們看見地板磨損時(shí),也就是使用期已太久,快破裂了,不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí),也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

  另外,C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式 C/R 而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA 濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板,這類型的天花板優(yōu)點(diǎn)為,放置方式并沒有嚴(yán)格的限制。

  C/R 之墻壁還有一種是以薄鋼制成,但必須在表層涂上一層保護(hù)層,否則亦會(huì)腐蝕,它并不容易電鍍,而在表層涂上的保護(hù)層會(huì)變得易碎,很容易剝落,但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼,就不必涂上保護(hù)層7,而使用玻璃作的 C/R 會(huì)使得房間的光線大增,以及美觀,但必須涂上一抗紫外線的障礙物,且可以視覺互通,較不會(huì)產(chǎn)生幽閉恐懼癥。

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