名稱

GSL-1100X-III-8.5T

爐體結(jié)構(gòu)

采用雙層殼體風(fēng)冷系統(tǒng)，工作時使得殼體表面溫度<60℃。

采用高純度氧化鋁作為爐膛材料，保溫性能，較大限度減少熱量損失。

通過觸摸屏控制工作溫度，真空度，水冷機(jī)組。

在爐子底部安裝有水冷和高真空機(jī)組。

采用鉸鏈?zhǔn)剿浞ㄌm，操作方便簡潔。

石英管尺寸

采用高純度石英管。

尺寸：216 O.D×206 I.D×1300 L mm（8.5" O.D×8.1" I.D×51" L）。

警告：石英管是易碎品，請妥善保管。人為損壞不在保修范圍內(nèi)。

標(biāo)準(zhǔn)兩塊氧化鋁纖維管堵，用于阻擋管內(nèi)的熱輻射（加熱爐在工作時必須放入管堵）。

可選石英管堵，提高潔凈度及真空度。

加熱區(qū)

總加熱區(qū)長度：900mm（36"）。

三個加熱區(qū)：330mm+330mm+330mm（12" 每個加熱區(qū)）。

恒溫區(qū)長度：750mm（三個溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度，誤差為±2℃）。

注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)經(jīng)供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系。

工作溫度

工作溫度：1150℃。

連續(xù)工作：200~1100℃

加熱/冷卻速率：10℃/min。

溫度分布圖

溫度控制

配備一款觸摸屏控制溫度。

三個加熱區(qū)分別設(shè)置30段升降溫程序。

控溫精度：±1℃。

每個溫區(qū)都配備一個K型Omega原裝熱電偶。

真空泵系統(tǒng)

在爐子下配備了一個數(shù)字分子泵系統(tǒng)。

真空度可達(dá)10-5torr。

真空泵由觸摸屏控制。

真空密封&法蘭

配備一對水冷密封法蘭（鉸鏈法蘭）。

左法蘭配備：真空計和觸摸屏控制的電磁閥（用于控制顱內(nèi)氣氛環(huán)境）。

右法蘭配備：KF40真空接口，用于連接真空泵接口上電磁閥。

法蘭外端配備一個外徑1/4"的熱電偶插口，用于方便進(jìn)行溫度校準(zhǔn)。

爐子底部配備有一個16L/min水冷機(jī)，用于水冷法蘭的供水。

可選

可以另配混氣系統(tǒng)用于CVD實(shí)驗(yàn)。

額定電壓

單相 AC 220V，50/60 Hz

包括AWG 8#電源線

功率

12KW（需50A空氣開關(guān)）

產(chǎn)品尺寸

1700 L×750 W×1800 H mm

凈重

250Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證。

所有電器元件（輸入電源大于24V）都通過了UL/MET/CSA

使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司購買減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

免責(zé)聲明

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