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銅銦鎵硒太陽(yáng)能薄膜電池專用爐 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

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更新時(shí)間:2023-06-02 09:21:06瀏覽次數(shù):241次

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主要特點(diǎn)這是一款針對(duì)太陽(yáng)能硒化設(shè)計(jì)的專用爐,爐體上端腔體可以實(shí)現(xiàn)離子增強(qiáng)硒化功能,利用上下腔體內(nèi)的壓差實(shí)現(xiàn)硒化氣體均勻擴(kuò)散乘積在基體表面

主要特點(diǎn)

這是一款針對(duì)太陽(yáng)能硒化設(shè)計(jì)的專用爐,爐體上端腔體可以實(shí)現(xiàn)離子增強(qiáng)硒化功能,利用上下腔體內(nèi)的壓差實(shí)現(xiàn)硒化氣體均勻擴(kuò)散乘積在基體表面。上腔體溫度調(diào)節(jié)范圍50-600度,等離子強(qiáng)度0-500W可調(diào),下腔體0-800度可調(diào)??梢远ㄖ葡虑惑w連續(xù)工作。

技術(shù)參數(shù)

功率

上爐體:1.5kw

下爐體:5kw

射頻功率

0-500W可調(diào)

爐膛尺寸

上腔體:100*100*100mm

下腔體:240*300*100mm

爐膛溫度

上腔體:50-600度可調(diào)

下腔體:50-800度可調(diào)

重量

220Kg

外型尺寸

1200*900*1600mm


智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(型號(hào):BTF-1200C-II-A

主要特點(diǎn):一、此設(shè)備的高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控

三溫區(qū)智能型等離子體化學(xué)沉積系統(tǒng)(BTF-1200C-III-500A

主要特點(diǎn):此款智能型等離子體增強(qiáng)化學(xué)沉積系統(tǒng)的高溫真空爐加熱腔體采用進(jìn)

連續(xù)進(jìn)出料等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)設(shè)備-BTF-1200C-RP-PECVD

主要特點(diǎn)該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)

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