光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng)PR-PD3

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更新時間：2022-08-12 14:30:27瀏覽次數(shù)：403次

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堀場儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng)PR-PD3

詳細介紹

概要
規(guī)格

概要

外形小巧、運營成本低、應用范圍廣
HORIBA的PD系列產(chǎn)品運轉效率高，具有長期穩(wěn)定性，受到眾多半導體制造工廠的高度評價。繼承了各個結構簡單、長期穩(wěn)定運轉的搬運系統(tǒng)，高通過量、可靠性高的光學系統(tǒng)，以及具有防誤測功能等高性能設備并巧妙組合成一個整體的產(chǎn)品就是PR-PD3。和以往的機型(PR-PD2)相比，它的外形尺寸小了約1/2，追求低運營成本。檢測靈敏度達到0.5μm，具有廣泛通用性。誕生了可以用來滿足光掩模(reticle/mask)上異物檢測這一廣泛需求的簡便裝置。

特征

和以往機型相比，設計小了1/2左右。和PR-PD2相比較，底面面積小了1/2，實現(xiàn)了小巧化。由于占地面積大幅變小，所以即使添加操作裝置(可選件)，也可以自由地進行布局。
實現(xiàn)了低運營成本。采用激光中具有超群經(jīng)濟性的氦氖激光，同時，采用了結構簡單的載物臺搬運系統(tǒng)等，大幅度地降低了維護運營成本。
有效的防誤測措施。搭載有粗圖案用的偏振差動和細微圖案用的低通差動這二個功能。通過同時使用這二種方法，可以有效地防止OPC等具有兩種特性的圖案誤檢測。

規(guī)格

檢測對象	有(無)表膜光掩模(reticle/mask)上的微粒子
測量原理	激光散射方式
可次粒徑	約7分鐘/2個面(在5英寸Reticle) 2個面檢測(5英寸)從開始檢測到顯示數(shù)據(jù)約為7分鐘 ※還可配有玻璃/表膜專用高速模式(約4分鐘/2個面)
靈敏度	圖案(Pattern)面：0.5μm、玻璃(Glass)面：5.0μm、表膜面(Pellicle)：10.0μm(※PSL相當)
光掩模盒 (請在訂貨時進行)	制曝光裝置盒(5、6英寸用)　 (標準配置：對應一種尺寸的Reticle) ※如需多盒處理，請另行協(xié)商。
測量結果	對應數(shù)據(jù)顯示于平面顯示器
外觀尺寸	約900(W)×1350(D)×1590(H) mm ※上述是設定標準尺寸。不同的分類器規(guī)格，尺寸大小有時也會不同