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堀場儀器（上海）有限公司
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更新時(shí)間：2022-08-12 14:33:25瀏覽次數(shù)：117次
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由于是無載體類型，所以可以構(gòu)筑小型氣化系統(tǒng)
由于通過質(zhì)量流量來測定發(fā)生量，所以可以不必受到溫度?壓力的影響進(jìn)行液體材料的氣化供給。
VC-1310 | |
產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) | 不滿1.0 CCM (液相的換算) ※1 |
對(duì)象液體種類 | 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 |
可升溫溫度 | 值.150℃ |
接氣部材質(zhì) | SUS-316L (PTFE) |
耐壓 | 1.0MPa(G) |
VC-1310 | |
產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) | 值.5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1 |
對(duì)象液體種類 | 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 |
或升溫溫度 | 值.150℃ |
接氣部材質(zhì) | SUS-316L (PTFE) |
耐壓 | 1.0MPa(G) |
※1 不同的液體種類將會(huì)有所差異。請(qǐng)進(jìn)行咨詢協(xié)商。
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