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真空低溫探針臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時(shí)間:2024-04-24 15:48:48瀏覽次數(shù):97次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:真空低溫探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

詳細(xì)介紹

   真空低溫探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

    真空低溫探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè)。

 

 

 

1、總體規(guī)格

尺寸:650mmW*650mmD*1500mmH(含支架)

自重:約80Kg

2、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

(1)真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜)

(2)探針控制:標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

(3)顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學(xué)放大倍率:1.4X~9X(使用1X附加物鏡時(shí)),視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦

(4)變溫樣品臺(tái):50mm直徑。變溫范圍:80K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.02K

(5)可選配接入光纖,可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖

(6)系統(tǒng)直流漏電低于1pA

3、含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀

4、設(shè)備照片(因配置不同,照片僅供參考)

關(guān)鍵詞:顯微鏡

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