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鄭州科探儀器設備有限公司
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更新時間:2024-04-29 10:05:11瀏覽次數(shù):113次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線質量流量計智能氣體配比器,可選配七星各種系列流量計,觸摸屏控制調節(jié)不同時間不同流量氣體,操控簡單,
質量流量計智能氣體配比器,可選配七星各種系列流量計,觸摸屏控制調節(jié)不同時間不同流量氣體,操控簡單,
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產品,該產品在原有CS200氣體質量流上,采用了基于DF的壓力信號補小償算法,全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝,產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準,支持Ⅵ型,C型GS氣路系統(tǒng)。
• 準確度采用設定點精度,產品精度可達±1.0% S.P.,響應時間≤ 0.5sec。
• CS300系列產品可帶有壓力補償功能,對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償,減少壓力變化對瞬時流量影響,從而保證產品工作的穩(wěn)定性和準確性。
質量流量計智能氣體配比器KT-C4ZS資料 ;
產品型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進1出 | 4進1出 | |||
可根據(jù)需求定制 | |||||
產品類型 | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||||
產品精度 | 高精度型±1%F.S | 普通型±1%F.S | |||
重復精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應時間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
功耗 | 40W | ||||
進氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調節(jié) | ||||
時間設定 | 0-32000分鐘 | ||||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) | ||||
壓力顯示 | 有(出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路) | ||||
氣體混合罐 | 有(內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻) | ||||
氣體加熱 | 無(可選配氣體混合罐加熱,加熱溫度室溫至350℃可調) | ||||
流量累計 | 有(累計當前運行總流量) | ||||
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG~20KG |
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