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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
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更新時間:2024-04-30 08:16:54瀏覽次數(shù):120次
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真空電阻測試臺,一體式不銹鋼腔體,手動調(diào)節(jié)探針,正面留有觀察窗,反面留有透光孔。高低溫配置。
一、真空電阻測試臺的原理介紹:
(1)一體式不銹鋼腔體,手動調(diào)節(jié)探針,正面留有觀察窗,反面留有透光孔。
(2)高低溫配置,KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺,結(jié)構(gòu)小巧,功能使用,成本較低,可以滿足基本實驗的要求。
(3)特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結(jié)構(gòu),使得探針部分能從整個探針臺系統(tǒng)中獨立出來,可以應(yīng)用于輻照實驗中,該探針臺也可放置高低溫箱中,用于芯片的三溫測試。
(4)多探針結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒,增加了抗干,擾,能力,其測試數(shù)據(jù)更加準確。
二、真空電阻測試臺KT-Z4019MRL4T技術(shù)參數(shù):
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體進氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm) | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型 | PT100 (可選K S B型熱電偶) | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針(可擴展5探針) | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選) | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm(需手動推動滑臺) | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°(需手動旋轉(zhuǎn)探針桿) | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm(需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿) |
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