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4軸機(jī)械臂小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

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更新時間：2024-06-12 10:10:45瀏覽次數(shù)：119次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂SCR3100S系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

詳細(xì)介紹

小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：

適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂SCR3100S系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，

有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化

提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝0.1µm級過濾器

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指

小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：