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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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所 在 地上海
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更新時(shí)間：2024-06-16 09:35:14瀏覽次數(shù)：137次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線OKAMOTOGNX200B晶圓研磨機(jī)特點(diǎn)：GNX200B擁有BG研磨技術(shù)
OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機(jī)特點(diǎn)： |
GNX200B擁有BG研磨技術(shù)。 |
日本機(jī)械學(xué)會授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng) |
主軸機(jī)械精度可調(diào) |
岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化，精度持久 |
潤滑系統(tǒng)有完善防護(hù)，避免異物進(jìn)入造成磨損 |
適用晶圓尺寸： 4"、5"、6"、8" 晶圓厚度： 1000μm |
可切換全自動、半自動操作模式 |
17 寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等 |
研磨耗材損耗小，加工成本低廉 |
研磨硅屑細(xì)小，沖洗更干凈 |
OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機(jī)規(guī)格參數(shù)： |
規(guī)格 | GNX200B | GNX300B |
加工直徑 | Ф200㎜ | Ф300㎜ |
主軸轉(zhuǎn)速范圍 | 0~3600rpm | 0~3000rpm |
主軸驅(qū)動電機(jī)功率 | 2.2kW/4kW | 5.5kW/4kW |
主軸進(jìn)給速度范圍 | 1~999μm/min | |
主軸數(shù) | 2 | |
工作盤轉(zhuǎn)速范圍 | 1~300rpm | |
研磨輪尺寸 | Ф250㎜ | Ф300㎜ |
設(shè)備整重 | 3900kg | 5700kg |
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