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南通麥科自動化科技有限公司
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閱讀：98發(fā)布時間：2022-11-7
為什么超純水在半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中具有很高的重要性
超純水系統(tǒng)被稱之為半導(dǎo)體行業(yè)的血脈，半導(dǎo)體行業(yè)又是一個高能耗的行業(yè)，在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對其配套設(shè)施提出了很高的要求。
在芯片、集成電路等生產(chǎn)中，由于半導(dǎo)體元件集成度高，生產(chǎn)線窄，對水質(zhì)要求特別高，超純水成為了電子行業(yè)的“標配"，超純水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良，重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結(jié)耐壓降低，III族元素 (B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性惡化，V族素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性惡化，水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%) 會使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面，就會引起電路短路或特性變差?？梢姡兯诎雽?dǎo)體行業(yè)中的重要性。
半導(dǎo)體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、我國電子工業(yè)電子級水質(zhì)技術(shù)標準(18 MΩ.cm、15 MΩ.cm、10 MΩ.cm、2 MΩ.cm、0.5 MΩ.cm)、我國電子工業(yè)超純水水質(zhì)試行標準、半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標、集成電路水質(zhì)標準。
國內(nèi)的超純水設(shè)備廠家很多，工藝也比較透明，目前的超純水設(shè)備工藝是二級反滲透+EDI裝置 出水電阻率達到15兆歐，或者雙級反滲透系統(tǒng)+EDI+拋光混床工藝，出水電阻率可達18兆歐。
超純水系統(tǒng)的主要部件之一是RO反滲透膜，RO膜的價格和壽命是超純水系統(tǒng)設(shè)計中重要的考慮因素，假如反滲透膜都采取國外進口，超純水設(shè)備價格會超出許多，雖然國外反滲透膜超濾膜起步比我們早，但國內(nèi)一些優(yōu)秀的膜廠家經(jīng)過多年精進發(fā)展，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，而且售前售后服務(wù)也比較到位，價格較進口膜有很大的優(yōu)勢，占有率越來越高。
在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“由多介質(zhì)過濾器+活性碳過濾器"，傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般大于5，不利于后續(xù)的一級反滲透系統(tǒng)的運行。而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定，通?？杀ＷCSDI＜3，能夠有效地保證一級反滲透系統(tǒng)的運行，且對比傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地面積大的缺陷，為企業(yè)節(jié)省較高的基建費用。
南通麥科自動化在水處理行業(yè)深耕多年，結(jié)合市場對半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥、食品等行業(yè)的需求，為各行業(yè)設(shè)計成熟、可靠、自動化程度高、高性能、高性價比的超純水設(shè)備，不但出水電阻率能穩(wěn)定達到生產(chǎn)需求，且優(yōu)化整套工藝，綜合一次性投資成本和后期運行維護費用，能有效保障后期處理設(shè)備的安全，延長設(shè)備的使用壽命。
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