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北京亞歐德鵬科技有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產品型號DP-RTS-4
品 牌
廠商性質其他
所 在 地
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更新時間：2023-04-20 20:53:47瀏覽次數(shù)：71次
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四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀型號：DP-RTS-4 DP-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備
四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀 型號：
DP-RTS-4
DP-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
DP-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
技術參數(shù)：
測量范圍 電阻率：～200Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：～2000Ω/□(可擴展)；
電導率：～1000 s/cm；
電阻：～200Ω.cm；
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源 電流量程分為、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：～；
分辨力：10μV；
輸入阻抗 gt;1000MΩ；
精度：±% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標 間距：1±mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于%±1字
整機測量相對誤差(用硅標樣片：-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口 并口
標準使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
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