俯仰、傾斜和旋轉位移臺可以分別在傾斜和俯仰方向進行±5°的調節(jié),以及進行±10°的旋轉(偏航)調節(jié)。這些調節(jié)可以讓光學部件和相應的夾具與某個平面對準,然后在該平面內進行旋轉。位移臺的頂板具有21個8-32(M4)螺孔構成的陣列,螺孔之間的間隔為12.5mm。 YR-001D多軸位移臺配合YR-01X旋轉位移臺用于典型的折射應用。 YR-001D多軸位移臺采用日本三豐公司生產的高精度千分尺,其分度值為10微米,提供5弧秒的最小運動增量。每轉動千分尺一周可以實現(xiàn)1.5°的旋轉和1.78°的傾斜。通過調節(jié)與千分尺相鄰的旋鈕,可以預先消除回程差。 一個旋鈕同時調節(jié)/鎖定傾斜(ΘX)和俯仰(ΘY)軸,而另一個旋鈕則調節(jié)/鎖定旋轉(ΘZ)軸。請注意,如果旋鈕被旋緊時,其對應方向軸的運動將會被有效地鎖定,除非千分尺退回零37.5 mm.可以使用一塊高度轉接板將位移臺的載物高度提高到標準的62.5 mm。這些高度轉接板可以用四個裝配M6螺絲的通孔固定到工作臺表面。然后,通過三個M6螺孔安將位移臺裝到高度轉接板上。 右圖顯示了一種典型應用,用于將一個準直透鏡與一根帶接頭的光纖固定在一起。被準直的激光光束直接入射到棱鏡上,通過位移臺千分尺就可以調節(jié)激光光束的折射方向。
性能特點 自準直儀的典型應用:
1.直線度測試:直線度測量和驗證是自準直儀在機械制造行業(yè)典型的應用之一。本系列準直儀測試直線度具有精度高、重復性好和雙方向同時檢測的優(yōu)點。在直線度測量中,借助一個橋板將角度量轉化為位移量進行測量,測量中使用首尾搭接法通過在整個測量行程內分段移動橋板完成測量過程。如圖:

2.自準直儀平面度測試:平面度測量和驗證是自準直儀進行直線度測量的拓展應用。通過對待測平面的若干直線進行測量(通常測量為米字型或者網格分布),最后將測試結果進行計算分析。整個測量過程根據(jù)精度的要求和平面尺寸選用2個或3個不同尺寸的測量橋板進行配合使用。如圖:
3.自準直儀垂直度測試:垂直度測量和驗證原理為采用自準直儀分別測量兩條待測導軌的直線度后,根據(jù)測量結果分析出兩條導軌的共面垂直度偏差,測量中基準的傳遞采用直角轉像鏡(光學五棱鏡)進行。如圖,先測試一條導軌的直線度并作為基準線,然后將直角轉像鏡放置在另一導軌位置后進行第二條直線測量并作為測量線。使用基準線的直線度包容區(qū)旋轉90度后對測量線的直線度曲線進行包容后的結果即為垂直度偏差值。
4.自準直儀平行度測試:平行度測量和驗證的基本原理是采用自準直儀分別測量兩條待測導軌的直線度后,根據(jù)測量結果計算出兩條導軌的共面平行度偏差,測量中的基準傳遞是采用直角轉像鏡(光學五棱鏡)進行。如圖,首先測量一條導軌的直線度并作為基準線,隨后將直角轉像鏡移動至另一導軌位置后進行第二條直線測量并作為測量線。使用基準線的直線度包容區(qū)平移后對測量線的直線度曲線進行包容后的結果即為平行度偏差值。
5.自準直儀位置不確定度測試:自準直儀結合多面棱體和檢測的旋轉平臺可以進行角度的不確定度檢測。
6.多個自準直儀組合對光學塊進行比較測量。(可以組合成測角儀)