
多槽自動硅片超聲波清洗機
☆頻率功率:40HZ 192000W
☆加熱功率:100KW
☆總功率:121KW
☆承重:50KG

1. 設備名稱:全自動硅片清洗機
2. 概述:
自動硅片清洗機生產(chǎn)主線依次為:進料槽、超聲波清洗槽、超聲波洗劑脫脂槽、RO水超聲波漂洗槽、超聲波洗劑脫脂槽、超聲波洗劑脫脂槽、RO水超聲波漂洗槽、RO水超聲波漂洗槽、RO水超聲波漂洗槽共8個工位,其工作原理是利用超聲波滲透力強的機械振動沖擊硅片表面并結(jié)合清洗劑的化學去污作用達到對硅片表面附著的碳化硅、硅粉、金屬粉末、油污、懸浮液等雜質(zhì)的清除,從而獲得表面潔凈的硅片。本設備電氣控制部分關鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件,性能可靠,使用壽命長,單臂小車運行平穩(wěn),動作迅速、可靠。
3. 設備技術(shù)參數(shù)
3-1、設備輸入?yún)?shù):
3-1-1、清洗零件名稱、材料:太陽能硅片
3-1-2、零件規(guī)格: 125×125mm,156×156mm
3-1-3、清洗前狀態(tài):含油污、雜質(zhì)等
3-1-4、生產(chǎn)能力: 200片/框,≥1500萬片/年
3-1-5、單框裝載量:8只花籃/框(6″或8″花籃)
3-1-6、清洗節(jié)拍:5min/框(可調(diào))
3-1-7、清潔、干燥要求:目測無明顯污染物,表面無有機物和顆粒,無花片,跡
3-1-8、連續(xù)工作時間:24小時
3-1-9、上、下料方式:手動上下料
3-1-10、清洗物流方向:左進右出 和右進左出兩種形式,各三臺
3-1-11、清洗合格率:≥99.8%
3-2、設備使用條件:
3-2-1、電源:380V±5%,頻率50Hz,三相五線制
3-2-2、總功率:約121KW
3-2-3、水源: 1"市水進水,2"純水進水,用量約1.5噸(每小時)
3-2-4、氣源:1/2"壓縮空氣進口,壓力約0.5Mpa,用量6m3/h
3-2-5、溫度和濕度:環(huán)境溫度:-5~50℃,相對濕度:≤80%
3-2-6、管路:全不銹鋼管路,進、排液為不銹鋼球閥;2個2〃排污,1個2〃主進水口,1個1〃市水進水口,
3-2-7、噪聲:≤80dB
4. 工藝流程
4-1,清洗流程:上料(浸泡)→超聲清洗(擺動+加熱+鼓泡)→超聲洗劑脫脂(擺動+加熱+鼓泡)→RO水超聲波漂洗(擺動+加熱)→超聲波洗劑脫脂(擺動+加熱)→超聲波洗劑脫脂(擺動+加熱)→RO水超聲波漂洗(擺動+加熱)→RO水超聲波漂洗(擺動+加熱)→RO水超聲波漂洗(擺動+加熱)→下料
4-2,工藝配置表
