樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合
用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 清洗各類基板。
● 電子部品、材料表面改質(zhì)。
● 去除有機(jī)物和自然氧化膜。

特點
● 體積小，節(jié)省空間。
● 選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
● 可通過操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應(yīng)臺。

內(nèi)槽

技術(shù)規(guī)格

型號	YSP600U	YSP2KU
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W	2000W
反應(yīng)臺尺寸	W300×D300mm	W600×D600mm
反應(yīng)氣體	2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量控制器

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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