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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

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專用掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與德國(guó)CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開(kāi)發(fā)的球差校正儀,顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時(shí),探針電流提高了10倍。最近,該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,進(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨......

詳細(xì)介紹

球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

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球差校正掃描透射電子顯微鏡 HD-2700

專用掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與德國(guó)CEOS GmbH公司(總經(jīng)理Max Haider先生)共同開(kāi)發(fā)的球差校正儀,顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時(shí),探針電流提高了10倍。
最近,該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,進(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí),該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置,可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。

  • 特點(diǎn)

  • 技術(shù)指標(biāo)

特點(diǎn)

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像

  • HAADF-STEM圖像0.136 nm,F(xiàn)FT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
  • HAADF-STEM圖像0.144 nm(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
  • 明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)

高速,高靈敏度能譜分析:探針電流×10倍

  • 元素面分布更迅速及時(shí)
  • 低濃度元素檢測(cè)

操作簡(jiǎn)化

  • 自動(dòng)圖像對(duì)中功能

從樣品制備到觀察分析實(shí)現(xiàn)無(wú)縫連接

  • 樣品桿與日立聚焦離子束系統(tǒng)兼容

配有各種選購(gòu)件可執(zhí)行各種評(píng)估和分析操作

  • 同時(shí)獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
  • 低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至)
  • 高精度放大校準(zhǔn)和測(cè)量*
  • 實(shí)時(shí)衍射單元*(同時(shí)觀察暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
  • 采用三維微型柱旋轉(zhuǎn)樣品桿(360度旋轉(zhuǎn))*,具有自動(dòng)傾斜圖像獲取功能。
  • ELV-3000即時(shí)元素面分布系統(tǒng)*(同時(shí)獲取暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像)
* :
選購(gòu)件

技術(shù)指標(biāo)

HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡

項(xiàng)目描述
圖像分辨率w/o球差校正儀 保證 0.204 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為4,000,000時(shí))
w球差校正儀 保證 0.144 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
保證 0.136 nm(HAADF圖像)
保證 0.105 nm(通過(guò)FFT)(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(高分辨率鏡頭*)
放大倍數(shù) 100倍 至 10,000,000倍
加速電壓 200 kV, 120 kV *
成像信號(hào) 明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡:相襯圖像(TE圖像)
暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡:原子序數(shù)襯度圖像(Z襯度圖像)
二次電子圖像(SE圖像)
電子衍射*
特征X射線分析和面分布(能譜分析)*
電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)*
電子光學(xué)系統(tǒng)電子源 肖特基發(fā)射電子源
冷場(chǎng)致發(fā)射器*
照明透鏡系統(tǒng) 2-段聚光鏡鏡頭
球差校正儀* 六極鏡頭設(shè)計(jì)
掃描線圈 2-段式電磁感應(yīng)線圈
原子序數(shù)襯度收集角控制 投影鏡設(shè)計(jì)
電磁圖像位移 ±1 µm
試片鏡臺(tái)樣品移動(dòng) X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
樣品傾斜 單軸-傾斜樣品桿:±30°(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭*)
真空系統(tǒng)  3個(gè)離子泵,1個(gè)TMP
極限真空 10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室)
圖像顯示個(gè)人電腦/操作系統(tǒng) PC/AT兼容, Windows® XP
監(jiān)視器 19-inch液晶顯示器面板
圖像幀尺寸 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
掃描速度 快掃,慢掃(0.5至320秒/幀)
自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示 記錄序號(hào),加速電壓,下標(biāo)尺,日期,時(shí)間
*
選購(gòu)件

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