適用于TEM，SEM以及LM的樣品制備
的解決方案
Leica EM RES102 是一款的離子束研磨設(shè)備，帶有兩個(gè)鞍形場(chǎng)離子源，離子束能量可調(diào)，以獲得離子研磨結(jié)果。
這一款獨(dú)立的桌面型設(shè)備集 TEM，SEM和LM樣品制備功能于一體，這與市面上其它設(shè)備截然不同。除了高能量離子研磨
功能外，徠卡EM RES102還可用于低能量極溫和的離子束研磨過程。
TEM 樣品
› 單面或雙面離子束研磨適用于材料的離子束減薄過程。鞍形場(chǎng)離子源可獲得很大的電子束透明薄區(qū)。
› 程序化控制的離子入射角度變化，適用于完成特殊的樣品制備目的，例如FIB樣品清潔，以減少無定形非晶層。
SEM 或 LM 樣品
› 離子束拋光拋光區(qū)域可達(dá)25mm。
› 離子束清潔適用于對(duì)樣品表面污染層或機(jī)械拋光后表面產(chǎn)生的涂抹層進(jìn)行清潔。
› 樣品表面襯度增強(qiáng)作用，可替代化學(xué)刻蝕作用。
› 35°斜坡切割用于制備多層樣品的截面。
› 90°斜坡切割用于制備復(fù)合結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體樣品或組裝器件，這種方式所需的機(jī)械預(yù)加工工作最少 。
TEM, SEM 或 LM樣品制備
- 在于您的選擇
為了支持多樣化的應(yīng)用需求，Leica EM RES102 可以裝配各種樣品臺(tái)以適用于TEM，SEM及LM樣品制備。預(yù)抽室
系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)樣品快速交換，從而可有效提高樣品交換效率 。
SEM
該樣品臺(tái)適用于SEM和LM樣品的離子束清潔，拋光和襯度增強(qiáng)，可在環(huán)境溫度下或 LN2制冷情況下使用。SEM樣品臺(tái)
可以制備尺寸達(dá) 25mm 的樣品。適配器用于夾持商品化生產(chǎn)的帶有3.1mm直徑插針的SEM樣品座。
SEM
斜坡切割樣品臺(tái)適用于切割樣品獲得縱截面(90°)或斜截面(35°)，便于SEM觀察樣品內(nèi)部縱向結(jié)構(gòu)，可以在環(huán)境溫度下或LN2 制冷情況下使用。SEM clamp holder to hold small sampleswith maximal dimensions of 5(H) x 7(W) x2(T)mm.This holder can be easily transferredto the SEM without removing the sample.TEM Sample Holder (Quick ClampHolder)for single and double-sided low angle millingdown to 4°.
SEM
薄片樣品臺(tái)用于夾持尺寸為5(H)×7(W)×2(D) mm樣品。該樣品臺(tái)可以很方便地被直接轉(zhuǎn)移進(jìn)SEM中，而不需要取出樣
品。
TEM
TEM樣品夾用于單面或雙面離子束減薄，減薄角度可低至4°。
TEM
TEM冷凍樣品夾具與LN2制冷裝置聯(lián)用，用于制備溫度敏感型樣品。
FIB
FIB清潔樣品臺(tái)用于清潔FIB樣品，減少表面無定形非晶層。
Leica EM RES102 可對(duì)樣品進(jìn)行離子束減薄，清潔，截面切割，拋光以及襯度增強(qiáng)，這極大滿足了您對(duì)應(yīng)用需求的多樣化和便利性。
操作簡(jiǎn)便
› 19”觸摸屏電腦控制單元，監(jiān)控并記錄制樣過程
› 內(nèi)置應(yīng)用參數(shù)庫(kù)
› 程序化制樣參數(shù)設(shè)定，加速初學(xué)者學(xué)習(xí)曲線
› 幫助文件幫助初學(xué)者以及對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)
高效/節(jié)約成本
› TEM，SEM和LM應(yīng)用功能集于一體
› TEM樣品制備獲得的薄區(qū)大，有效提高了TEM樣品制備效率
› SEM樣品制備可達(dá)25mm樣品直徑
› 預(yù)抽室系統(tǒng)幫助快速交換樣品，減少等待時(shí)間，并保證了樣品室的持續(xù)高真空
› 局域網(wǎng)功能方便遠(yuǎn)程操控
› LN2樣品臺(tái)使得溫度敏感型樣品可在優(yōu)化條件下進(jìn)行離子研磨
安全
› 精確的自動(dòng)終止功能，適用于光學(xué)終止或透明樣品的法拉第杯終止
› 在制樣過程中可以時(shí)時(shí)存儲(chǔ)活圖像或視頻
› 離子源和樣品運(yùn)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，程序化控制，因而可獲得重復(fù)性制樣結(jié)果
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