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行業(yè)產(chǎn)品

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更新時(shí)間:2023-01-29 10:00:16瀏覽次數(shù):518次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本HoribaS500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過(guò)程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制

詳細(xì)介紹

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過(guò)程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。


日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地準(zhǔn)確控制氣流質(zhì)量流量。利用氣流流過(guò)不銹鋼毛細(xì)管,改變毛細(xì)管溫度分布,造成上下游溫差方法,而測(cè)得氣體質(zhì)量流量;不同于測(cè)壓力或測(cè)體積方法等類別流量計(jì),其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測(cè)量電路信號(hào)實(shí)時(shí)反映氣流瞬時(shí)流量,并通過(guò)PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而準(zhǔn)確控制流量,所以特別適用于過(guò)程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。

S500系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。


日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):

具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。

閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。線路板、閥體、彈簧片、精致電阻和電容等為重要零部件,均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。

可任意角度安裝。

電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合工作。



日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

S500 (規(guī)格Type AR111)

外部密封

氟橡膠

接觸氣體材料

SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼

調(diào)節(jié)閥類型

非通電時(shí)常閉

滿量程流量(N2換算流量)

10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min
1,2,3,5,10,20,30 L/min

流量控制范圍

2%~99%F.S. (0.1~5V DC)

流量測(cè)量范圍

0~99%F.S. (0~5V DC)

響應(yīng)時(shí)間(輸出電壓)

1秒 (保證 1.5秒以內(nèi)T98)

工作環(huán)境溫度

5~45℃ (精度保證 15~35℃)

流量精度

±1.0%F.S

線性

±0.5%F.S.

重復(fù)性

±0.2%F.S.

工作壓差

10mL/min~5L/min :50~300kPa(d)
10L/min~30L/min :100~300kPa(d)

很大工作(使用)壓力

300kPa(G)

耐壓

3MPa(G)

泄漏率

1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下

流量設(shè)定信號(hào)

0.1~5VDC(2%~99%F.S.)

流量輸出信號(hào)

0~5VDC(0%~99%F.S.)

供電電源

+15V±5% 100mA以下
-15V±5% 150mA以下

管路接頭

1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR

安裝角度

任意

電氣接頭

D-Sub 15pin

輸入輸出阻抗

輸入:1MΩ以上  輸出:3mA以下

附加功能

Auto-zero、Auto-close

滿量程流量50mL/min一下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內(nèi)



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