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納米線性位移臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)FPSMA-SLL12

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-03-22 18:12:05瀏覽次數(shù):303次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:90條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:陳小姐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

納米線性位移臺(tái)SLL12是長(zhǎng)行程范圍的線性納米位移臺(tái),基于循滑塊設(shè)計(jì),小滑塊結(jié)合不同長(zhǎng)度的導(dǎo)軌,使其可以進(jìn)行精確遠(yuǎn)程納米位移定位或在有限空間內(nèi)大行程范圍的納米位移定位

詳細(xì)介紹

納米線性位移臺(tái)SLL12是長(zhǎng)行程范圍的線性納米位移臺(tái),基于循滑塊設(shè)計(jì),小滑塊結(jié)合不同長(zhǎng)度的導(dǎo)軌,使其可以進(jìn)行精確遠(yuǎn)程納米位移定位或在有限空間內(nèi)大行程范圍的納米位移定位??梢栽谕粋€(gè)軌道上放置多個(gè)滑塊。
納米線性位移臺(tái)SLL12可由我們的任何控制單元操作,也可用于高真空應(yīng)用。

納米線性位移臺(tái)SLL12規(guī)格參數(shù)
型號(hào) SLL12 SLLA42 SLLV42
分辨率 <1nm <1nm <1nm
負(fù)載 30N(3kg) 30N(3kg) 30N(3kg)
適合真空度 10-11 mbar 10-11 mbar 10-11 mbar
行程范圍 70~475mm 70~1480mm 70~1480mm
步進(jìn)1 1-1500nm 1-1500nm 1-1500nm
掃描范圍 >1.5um >3um >3um
掃描分辨率 <1nm <1nm <1nm
速度 >20mm/s >20mm/s >20mm/s
頻率 18.5KHz 18.5KHz 18.5KHz
阻尼力Fb >3N >5N >5N
正向力Fn 30N 30N 30N
升力Fl >1N >1.5N >1.5N
尺寸 33.8 x 27 x 13 mm3 54 x 60 x 16 mm3 54.8 x 60 x 16 mm3
重量 44g 148g 148g
鋼軌重 59 g / 100 mm 286 g / 100 mm 286 g / 100 mm
pitch俯仰力矩Mp 6Nm 25Nm 25Nm
yaw偏航力矩My 6Nm 25Nm 25Nm
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr 11Nm 90Nm 90Nm
Closed-Loop-S
傳感器分辨率
1nm 1nm 1nm
Closed-Loop-S
重復(fù)精度
± 70 ~450 nm 2 ± 70 ~450 nm 2 ± 70 ~450 nm 2
納米線性位移臺(tái)SLL12可選項(xiàng)目
多運(yùn)載滑塊
沉頭孔、螺紋孔(M4)
黑色陽(yáng)極氧化(-BK)
閉環(huán)所需的螺紋孔M4
-HV (10-6 mbar) 3
納米線性位移臺(tái)SLL12配件
納米線性位移臺(tái)SLL12具有多種配件方便用戶使用,可以配備各種規(guī)格的適配板,也可集成壓電驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌用于搭建各種復(fù)雜納米定位系統(tǒng)。
納米線性位移臺(tái)SLL12配件-被動(dòng)運(yùn)載滑塊-可以安裝到各種導(dǎo)軌上,方便移動(dòng)定位樣品
納米線性位移臺(tái)SLL12配件-終點(diǎn)阻擋器-安裝到線性定位臺(tái)上方便阻擋滑塊脫軌
納米線性位移臺(tái)SLL12配件-寬定位臺(tái)適配器-能夠適配不同寬度的納米線性定位臺(tái)

納米線性位移臺(tái)SLL12應(yīng)用案例
我們采用兩個(gè)納米線性位移臺(tái)SLL12和一套SR-7012納米旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)組成了3D納米微操作器,能夠負(fù)載300克樣品,在XY和旋轉(zhuǎn)方向?yàn)橛脩籼峁┘{米定位,可用于真空環(huán)境,非常適合用于SEM掃描電子顯微等樣品定位。

關(guān)鍵詞:位移臺(tái) 傳感器

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