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Transpector MPH 殘余氣體分析儀

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Transpector MPH 殘余氣體分析儀Transpector MPH 殘余氣體分析儀監(jiān)控您的過(guò)程的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)最長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于限度地提高芯......

詳細(xì)介紹

Transpector MPH 殘余氣體分析儀

監(jiān)控您的過(guò)程

的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)最長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間

持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統(tǒng)專門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長(zhǎng)故障平均間隔時(shí)間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場(chǎng)上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON
發(fā)揮其在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長(zhǎng)，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)的數(shù)據(jù)采集速度、可檢測(cè)分壓和最小的信噪比。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點(diǎn)數(shù)據(jù)率
TCP/IP 以太網(wǎng)連接
雙絲極
可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
較短的傳感器可降低安裝占地面積
九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號(hào))
信噪比更高
可調(diào)換傳感器和電子元件
傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

類(lèi)型		MPH100F	MPH100M	MPH200F	MPH200M	MPH300F	MPH300M
傳感器長(zhǎng)度		14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
質(zhì)量范圍		100 amu	100 amu	200 amu	200 amu	300 amu	300 amu
檢測(cè)器類(lèi)型		FC	FC/EM	FC	FC/EM	FC	FC/EM
靈敏度 (FC)		6E-4 A/Torr	6E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM)		NA	500 A/Torr	NA	500 A/Torr	NA	250 A/Torr
最小可檢測(cè)分壓		3E-13 Torr	2E-15 Torr	4E-13 Torr	3E-15 Torr	5E-13 Torr	4E-15 Torr
傳感器工作溫度(FC)		200°C	200°C	200°C	200°C	200°C	200°C
傳感器工作溫度(EM)		NA	150°C	NA	150°C	NA	150°C
絲極類(lèi)型選件 (1)		Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir
絲極類(lèi)型選件 (2)		Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten
分辨率（整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)）		<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)
溫度系數(shù)		<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C
每點(diǎn)數(shù)據(jù)率		1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms
零沖擊（@ 質(zhì)量 2）		<5 ppm	<5 ppm	<65 ppm	<65 ppm	<100 ppm	<100 ppm
工作壓力		5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
烘烤溫度	°C°F	300	300	300	300	300	300
功率輸入		20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC