光電輪廓儀的應(yīng)用范圍很廣，它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀三維結(jié)構(gòu)，如表面粗糙度；零件表面的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說，如量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度；標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結(jié)構(gòu)；鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌；磁（光）盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。

詳細介紹

WGL光電輪廓儀的產(chǎn)品介紹

儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習慣；
應(yīng)用CMOS代替CCD，省去圖象卡并提高了質(zhì)量；
用低壓電源代替高壓電源，節(jié)省了儀器成本；
用國產(chǎn)的代替德國進口壓電陶瓷，解決了關(guān)鍵部件的進口難題；
增加了自動步距和亮度校正程序，同時增加了局部放大三維立體圖功能；

WGL光電輪廓儀的參數(shù)
表面微觀不平深度測量范圍：130?1nm
測量的重復(fù)性：sRa≤0.5nm
測量精度：8nm
物鏡倍率：40X
數(shù)值孔徑：0.65
儀器視場目視：f0.25mm
攝象：0.13X0.13mm
儀器放大倍數(shù) 目視：500X
攝象（計算機屏幕觀察）：2500X
接收器測量列陣：1000X1000
象素尺寸：5.2X5.2?m

關(guān)鍵詞：輪廓儀高壓電源

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光電輪廓儀

上海荊和分析儀器有限公司

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