高性能4060手動(dòng)探針平臺(tái)系統(tǒng)，150/200mm晶圓測(cè)量
手動(dòng)探針平臺(tái)4060的規(guī)格參數(shù)：
| 型號(hào) | 4060手動(dòng)顯微鏡探針平臺(tái)系統(tǒng) |
| 手動(dòng)探針平臺(tái)4060的整體尺寸 |
| 設(shè)備占地面積（寬度 x 深度） | 22.75 x 23.35英寸（57.7 x 59.3 cm） |
| 探針臺(tái)（寬度 x 深度 x 高度） | 28.5 x 26.75 x 21.5英寸（72.3 x 67.9 x 54.6 cm） 重量：191 lb（86.6 kg） |
| XY平臺(tái)移動(dòng) |
| 行程 | 6 x 6英寸（150 x 150 mm）或8 x 8英寸（200 x 200 mm），手動(dòng)控制 |
| 分辨率 | 1.0 um per degree |
| 顯微鏡 線形 |
| 行程（XYZ） | 4 x 4 x 2英寸（100 x 100 x 50 mm） |
| 分辨率 | 3.5 um |
| 大面積鋁壓板 |
| Z軸行程 | 1英寸（25.4 mm） |
| 分辨率 | 0.1 um / 度 |
美國(guó)Micromanipulator設(shè)計(jì)的4060手動(dòng)探針平臺(tái)是一種高效的，能夠測(cè)量6 - 8英寸（150 - 200mm）的手動(dòng)分析探針站。4060手動(dòng)探針平臺(tái)可以應(yīng)用于日常故障分析，設(shè)備表征和可靠性測(cè)試應(yīng)用。4060手動(dòng)探針平臺(tái)具有高效的、準(zhǔn)確的電氣和機(jī)械性能的特點(diǎn)，是工業(yè)領(lǐng)域上高效、穩(wěn)定和可靠的150/200mm手動(dòng)探針系統(tǒng)。
4060手動(dòng)顯微鏡探針平臺(tái)可以根據(jù)您的特點(diǎn)需求進(jìn)行配置，可選配置包括：探針卡座、熱壓板、操縱器、的探針支架、隔震臺(tái)、光密封外殼(LTEs)和相機(jī)系統(tǒng)等附件。標(biāo)準(zhǔn)的手動(dòng)探針平臺(tái)系統(tǒng)配置選項(xiàng)包括獨(dú)立的顯微鏡升降鎖定桿組件、平臺(tái)升降和可調(diào)顯微鏡升降延遲以及支持低溫探測(cè)的黑暗干燥一體化的環(huán)境。
4060型號(hào)手動(dòng)探針臺(tái)的高效和堅(jiān)固可靠性結(jié)合其性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)，使其成為一種真正具有成本效益的通用分析探針系統(tǒng)的理想選擇。
4060手動(dòng)探針平臺(tái)系統(tǒng)的特點(diǎn)：
- 手動(dòng)螺桿控制平臺(tái)，精確的控制平衡了晶圓的快速轉(zhuǎn)換和高分辨率定位的關(guān)系
- 螺桿控制壓板，用于探針夾持器定位
- 絲桿驅(qū)動(dòng)高分辨率手動(dòng)夾持器θ控制
- 高穩(wěn)定性的顯微鏡支撐架支持高分辨率復(fù)合顯微鏡
- 人體工學(xué)、直觀、緊湊的設(shè)計(jì)提高了使用便利性，同時(shí)增加了穩(wěn)定性
- 緊湊的占地面積，能夠有效利用實(shí)驗(yàn)室空間
- 大型鋁壓板允許操作員選擇合適的位置放置操縱器
- 6英寸(150 mm)或8英寸(200 mm)的夾具，具有全晶圓覆蓋級(jí)的行程移動(dòng)
- 可選配熱或熱/冷夾具，包括內(nèi)部電纜/軟管處理組件，方便在探測(cè)站的后部和集成的黑暗/干燥環(huán)境進(jìn)行操作
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