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深圳維爾克斯光電有限公司


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超精密Z軸位移臺(tái)

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作為Zaber廠家電動(dòng)Z軸升降臺(tái)的旗艦型號(hào),采用直線電機(jī),其精度達(dá)到1μm,25nm步進(jìn),80nm重復(fù)精度。1微米精度Z軸電動(dòng)升降臺(tái)配置了一個(gè)被動(dòng)的磁力平衡器,能夠在升降臺(tái)斷電的時(shí)候,提供55N(約5.5Kg)的支撐力,防止墜落。超高精度Z軸升降臺(tái)

詳細(xì)介紹

超高精度Z軸升降級(jí)臺(tái),25nm步進(jìn),80nm重復(fù)精度,1μm精度


Zaber的X-LDM-AEZ 系列是通過(guò)計(jì)算機(jī)軟件控制的電動(dòng)Z軸升降臺(tái),X-LDM-AE 直線電機(jī)升降臺(tái)能在垂直應(yīng)用中提供高精度、可靠性和高速度。被動(dòng)的磁力平衡器可補(bǔ)償高達(dá) 55 N(約5.5kg) 的負(fù)載重量,防止在斷電期間發(fā)生墜落,或者不必要的運(yùn)動(dòng)。Z軸升降臺(tái)只需一個(gè)螺絲即可在幾秒鐘內(nèi)微調(diào)平衡的力。


1μm精度Z軸滑臺(tái)是集成一體的獨(dú)立單元,其他配件僅包括標(biāo)準(zhǔn)的48 V電源和電纜??赏ㄟ^(guò)RS-232 端口或 USB 端口與計(jì)算機(jī)連接,并且可以與任何其他 Zaber廠家的平移臺(tái)進(jìn)行菊花鏈連接,并可共用一個(gè)電源。與 Zaber 的所有產(chǎn)品一樣,X-LDM-AEZ 系列設(shè)計(jì)為“即插即用",并且非常易于設(shè)置和操作。 X-LDM-AEZ系列1微米Z軸電動(dòng)升降臺(tái)還包括一個(gè)數(shù)字輸入和兩個(gè)數(shù)字輸出,用于與外部系統(tǒng)連接。事件驅(qū)動(dòng)的觸發(fā)系統(tǒng)允許根據(jù) I/O、時(shí)間或運(yùn)動(dòng)刺激對(duì)設(shè)備進(jìn)行編程以實(shí)現(xiàn)獨(dú)立操作。



1μm精度Z軸滑臺(tái)可通過(guò)USB 2.0 或RS232串行端口輕松連接到電腦,并通過(guò) RS-232 向其發(fā)送命令。 Zaber的電動(dòng)Z軸升降臺(tái)提供免費(fèi)、直觀的 Windows 軟件可以輕松控制設(shè)備的速度和位置、更改設(shè)備設(shè)置和編寫自定義腳本。對(duì)于 LabVIEW 用戶,我們提供免費(fèi)的 LabVIEW 認(rèn)證驅(qū)動(dòng)程序。


Zaber公司的電動(dòng)Z軸升降臺(tái)有一個(gè)手動(dòng)的分度旋鈕,即使沒(méi)有電腦,也可以通過(guò)手動(dòng)操作旋鈕,實(shí)現(xiàn)位移臺(tái)在2個(gè)方向上以不同的速度平滑運(yùn)行。在速度模式下,轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕,滑臺(tái)開始以恒定的速度移動(dòng),旋鈕有好幾個(gè)檔位,調(diào)整不同的檔位,速度會(huì)增快或者降低。在位移模式下,旋鈕的每一個(gè)增量都使設(shè)備移動(dòng)一個(gè)可配置的距離。按壓旋鈕1秒鐘,可以在兩種模式之間切換。無(wú)在任何操作中,你也可以通過(guò)按壓旋鈕發(fā)出停止命令。


Zaber 1μm精度Z軸升降臺(tái)特點(diǎn):

1. 1微米精度Z軸電動(dòng)升降臺(tái)通過(guò)RS232串行端口(X-SDC 電纜)或 USBX-USBDC 電纜)控制菊花鏈中的所有單元。

2. 可通過(guò)X-DC02電纜或X-DC06電纜串聯(lián)其他電動(dòng)平移臺(tái)設(shè)備,并可共用一個(gè)電源。

3. 一個(gè)分度旋鈕提供方便的手動(dòng)控制。通過(guò)旋鈕可以很容易地實(shí)現(xiàn)低至25nm的一致步進(jìn)。

4. 超高精度Z軸升降臺(tái)通過(guò)被動(dòng)的磁力平衡器可以補(bǔ)償高達(dá)55N的負(fù)重,平衡力可以在幾秒鐘內(nèi)精細(xì)調(diào)整,防止斷電墜落。

5. 超高精度Z軸升降臺(tái)提供免費(fèi)的軟件,可以針對(duì)任何有效載荷質(zhì)量自動(dòng)優(yōu)化伺服調(diào)整參數(shù)。 參數(shù)可以即時(shí)調(diào)整。

6. X-LDM-AEZ升降臺(tái)的設(shè)計(jì)具有的可靠性。零移動(dòng)電纜,結(jié)合非接觸式驅(qū)動(dòng)和編碼器,形成了一個(gè)異常堅(jiān)固的系統(tǒng)。


7. 1 nm 分辨率線性編碼器安裝在Z軸升降臺(tái),以實(shí)現(xiàn)精度和重復(fù)性精度。

8. 電動(dòng)Z軸升降臺(tái)超光滑交叉滾子軸承提供長(zhǎng)壽命和出色的俯仰pitch、翻滾roll和偏航yaw規(guī)格。

9. 超高精度Z軸升降臺(tái)使用側(cè)裝式的無(wú)鐵芯直線電機(jī)提供出色的動(dòng)態(tài)性能,同時(shí)通過(guò)使熱量遠(yuǎn)離位移臺(tái)的編碼器刻度來(lái)提高可重復(fù)性。

10. 超高精度Z軸升降臺(tái)包含一個(gè)數(shù)字輸入和兩個(gè)數(shù)字輸出,用于與外部系統(tǒng)連接的接口。


X-LDM-AE系列1微米精度Z軸電動(dòng)升降臺(tái)規(guī)格:

X-LDM-AE規(guī)格

參數(shù)

內(nèi)置控制器

Yes

行程

60 mm / 40mm

2.362"

精度(單向)

1 µm

0.000039"

重復(fù)精度

< 0.08 µm

< 0.000003"

Min增量移動(dòng)

25 nm

Maximum Acceleration

16 m/s2

1.63 g

Max速度

800 mm/s

31.496"/s

Min速度

0.61 nm/s

Speed Resolution

0.61 nm/s

編碼器類型

Linear analog encoder

Encoder Count Size

1 nm

峰值推力

10 N

2.2 lb

連續(xù)推力

25 N

5.6 lb

通訊接口

RS-232

通訊協(xié)議

Zaber ASCII (Default)

Maximum Cantilever Load

1200 N?cm

1699.3 oz?in

導(dǎo)軌類型

Crossed-Roller Bearing

Horizontal Runout

< 4 µm

< 0.000157"

Pitch

0.003°

0.052 mrad

Roll

0.002°

0.035 mrad

Yaw

0.002°

0.035 mrad

Counterbalance Type

Adjustable Magnetic

Counterbalance Payload Range

10-33 N

2.2-7.4 lb

Maximum Current Draw

3000 mA

電源

48 VDC

電源插頭

2-pin screw terminal

電機(jī)類型

Moving Magnet Track Linear Motor

數(shù)據(jù)線連接

Locking 4-pin M8

Limit or Home Sensing

Optical Index Mark

Manual Control

Indexed knob with push switch

Axes of Motion

1

LED 指示燈

Yes

安裝孔

M6 threaded holes

工作溫度范圍

0 to 50 °C

真空兼容

No

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

Yes

符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

Yes

移動(dòng)質(zhì)量

2.32 kg

5.104 lbs

數(shù)字輸入端口

1

數(shù)字輸出端口

2

重量

5.17 kg

11.398 lb


1μm精度Z軸升降臺(tái)尺寸圖:



關(guān)鍵詞:位移臺(tái)

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