Phasics公司基于其創(chuàng)新的高分辨率波前傳感技為客戶提供的測(cè)量和成像解決方案，以滿足激光工程師，鏡片生產(chǎn)商和細(xì)胞生物學(xué)家的需求。
基于四波橫向剪切的波前傳感器的工作波長(zhǎng)范圍從紫外到遠(yuǎn)紅外，典型的應(yīng)用包括激光束測(cè)量和校正以及透鏡測(cè)試?；谒牟M向剪切的波前傳感器具有高的分辨率，也為波前分析的創(chuàng)新應(yīng)用開(kāi)辟了新的道路，如等離子體密度測(cè)量或定量相位成像顯微鏡，如生命科學(xué)、材料檢驗(yàn)和熱成像。
法國(guó)Phasics公司擁有自主研發(fā)的波前傳感器，這種儀器是基于四波橫向剪切干涉技術(shù)而設(shè)計(jì)的。SID4系列波前探測(cè)器與傳統(tǒng)的夏克-哈特曼波前探測(cè)器比較，法國(guó)Phasics波前分析儀具有高動(dòng)態(tài)檢測(cè)范圍、消色差、高分辨率、消色差、操作簡(jiǎn)便，高靈敏度等優(yōu)勢(shì)?？梢韵虿ㄇ盎?、波前相差探測(cè)以及光束質(zhì)量及波前參數(shù)的測(cè)量、分析；眼科的虹膜定位以及波前像差引導(dǎo)等提供了完整的優(yōu)秀的解決方案！PHASICS波前探測(cè)器軟件界面具有易用性，能夠明了的輸出高分辨率的相位圖和光束強(qiáng)度的分布圖。
本文的產(chǎn)品主要有：適用于常用波段的SID4波前傳感器; 用于紅外波段的型號(hào)：SID4 DWIR, SID4 LWIR, SID4-SWIR, SID4-NIR; 高分辨率的SID4 UV-HR, SID4-HR； 最后是深紫外波段的SID4-UV和SID4 UV-HR。所有的波段都能夠有適合的產(chǎn)品為您提供，并且有高采樣點(diǎn)的型號(hào)和普通標(biāo)準(zhǔn)的型號(hào)等等。
法國(guó)Phasics SID4 波前傳感器的特點(diǎn)：
SID4可用于400nm-1000nm 的激光的波前像差，強(qiáng)度分布，波前位相、澤尼克參數(shù), 激光的M2等進(jìn)行實(shí)時(shí)的測(cè)量及參數(shù)輸出。
-可直接測(cè)量：消色差設(shè)計(jì)，測(cè)量前無(wú)需再次對(duì)波長(zhǎng)校準(zhǔn)，消色差：干涉和衍射對(duì)波長(zhǎng)相消
-高分辨率：最多采樣點(diǎn)可達(dá)120000個(gè)（160x120），測(cè)量穩(wěn)定性高
-內(nèi)部光柵橫向剪切干涉，防震設(shè)計(jì)，無(wú)需隔震平臺(tái)也可測(cè)試，對(duì)實(shí)驗(yàn)條件要求簡(jiǎn)單
-高動(dòng)態(tài)范圍：高達(dá)500μm
-波長(zhǎng)范圍：400-1100nm
SID4 UV-HR高分辨紫外波前傳感器的特點(diǎn)：
Phasics公司將 SID4的測(cè)量波長(zhǎng)范圍:190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款適用于紫外波段的高分辨率波前探測(cè)器,非常適用于光學(xué)元件測(cè)量（例如印刷、半導(dǎo)體等等）和表面檢測(cè)（半導(dǎo)體晶片檢測(cè)等）。
-高分辨率（250x250）
-通光孔徑大（8.0mmx8.0mm）
-覆蓋紫外光譜
-靈敏度高（0.5um）
-優(yōu)化信噪比
SID4-HR 波前相差儀特點(diǎn)：
能夠進(jìn)行對(duì)透鏡、光學(xué)系統(tǒng)實(shí)時(shí)的PSF（點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)）、OTF（光學(xué)傳遞函數(shù)）、MTF（調(diào)制傳遞函數(shù)）以及波前像差測(cè)量和參數(shù)輸出。與傳統(tǒng)的透鏡檢測(cè)設(shè)備比較：干涉儀，傳函儀、具有測(cè)量精度高，操作簡(jiǎn)便，參數(shù)輸出方便等優(yōu)勢(shì)。
-曝光時(shí)間極短,保證動(dòng)態(tài)物體測(cè)量
-波長(zhǎng)范圍：400-1100nm
-實(shí)時(shí)測(cè)量，立即給出整個(gè)物體表面的信息（120000個(gè)測(cè)量點(diǎn)）
-高性能的相機(jī)，信噪比高，操作簡(jiǎn)單
SID4 NIR 波前分析儀
其主要針對(duì)1550 nm（1.5um-1.6um）激光進(jìn)行檢測(cè)的儀器，具有分辨率高，高動(dòng)態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡(jiǎn)便等的優(yōu)勢(shì)。是紅外透鏡像差，光學(xué)測(cè)量和紅外物體、MTF，PSF以及焦距和表面質(zhì)量測(cè)量的理想工具。
-高分辨率（160x120）
-快速測(cè)量
-測(cè)量
-對(duì)振動(dòng)不敏感
-性價(jià)比高
SID4 UV 波前分析儀
其主要針對(duì)250-450nm激光進(jìn)行檢測(cè)的儀器，具有分辨率高，高動(dòng)態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡(jiǎn)便等的優(yōu)勢(shì)。適用于UV光學(xué)測(cè)試，UV激光表征（用于光刻，半導(dǎo)體......）和表面檢測(cè)（透鏡和晶圓......）光學(xué)測(cè)量和MTF，PSF以及焦距測(cè)量。
-非常高的分辨率-250×250相位圖
-高靈敏度 - 2 nm RMS
-經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的紫外波前測(cè)量解決方案
SID4 DWIR/ SID4 LWIR/ SID4-SWIR波前儀
擁有寬波段波前探測(cè)的特點(diǎn)。實(shí)時(shí)的檢測(cè)3-5um以及8-14um的強(qiáng)度分布和波前位相等的波前信息?？梢院芎玫膽?yīng)用于紅外波段應(yīng)用的波前檢測(cè)需求。
-光學(xué)測(cè)量：SID4 DWIR是測(cè)量紅外物體特性（熱成像和安全視覺(jué)）或紅外透鏡（CO2激光器）的理想工具，輸出結(jié)果包括MTF，PSF，像差，表面質(zhì)量和透鏡焦距。
-光束測(cè)量：（CO2激光器，紅外OPO激光光源等等）此型號(hào)可以提供詳盡的光束特性參數(shù)：M2，像差，光束特性，光強(qiáng)分布等
-可實(shí)現(xiàn)離軸測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)測(cè)量，性價(jià)比高
-高分辨率（96x72，快速測(cè)量 對(duì)振動(dòng)不敏感
-可覆蓋中紅外和遠(yuǎn)紅外波段 大數(shù)值孔徑測(cè)量，無(wú)需額外中轉(zhuǎn)透鏡
法國(guó)Phasics波前相差儀主要應(yīng)用：
-光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量分析：MTF, PSF, EFL, 澤尼克系數(shù), 光學(xué)鏡頭/系統(tǒng)質(zhì)量控制
-激光光束參數(shù)測(cè)量：相位（2D/3D），M2，束腰位置，直徑，澤尼克/勒讓德系數(shù)
-生物應(yīng)用：蛋白質(zhì)等組織定量相位成像
-自適應(yīng)光學(xué)：焦斑優(yōu)化，光束整形
-熱成像分析，等離子體特征分析
-元器件表面質(zhì)量分析：表面質(zhì)量（RMS，PtV，WFE），曲率半徑
法國(guó)Phasics波前探測(cè)器參數(shù)規(guī)格對(duì)比
| 型號(hào) | UV | SID4 V | SID4 | SID4-HR | NIR | SWIR | SWIR-HR | eSWIR | DWIR | LWIR |
| 光譜范圍 | 250-400nm | 400-1100nm | 400-1100nm | 400-1100nm | 1.5-1.6μm | 0.9-1.7μm | 0.9-1.7μm | 1.0-2.35μm | 3-5μm & 8-14μm | 8-14μm |
| 孔徑大小mm2 | 7.4x7.4 | 4.73x3.55 | 4.73x3.55 | 11.84x8.88 | 4.73x3.55 | 9.6x7.68 | 9.6x7.68 | 9.6x7.68 | 10.08x8.16 | 16x12 |
| 空間分辨率μm | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 120 | 60 | 120 | 68 | 100 |
| 相位采樣(像素) | 250x250 | 160x120 | 160x120 | 400x300 | 160x120 | 80x64 | 160x128 | 80x64 | 160x120 | 160x120 |
| 相位精度（nm RMS） | 10 | 15 | 10 | 15 | 15 | 15 | 15 | <40 | 75 | 75 |
| 相位分辨率（nm RMS） | 2 | 2 | 2 | 2 | 11 | 2 | 2 | <6 | 25 | 25 |
夏克哈特曼和四波橫向剪切干涉波前分析儀對(duì)比表
| | Phasics剪切干涉 | 夏克哈特曼 | 區(qū)別 |
| 技術(shù) | 四波側(cè)向剪切干涉 | 夏克-哈特曼 | PHASICS SID4是對(duì)夏克-哈特曼技術(shù)的改進(jìn)，投放市場(chǎng)時(shí)，已經(jīng)申請(qǐng)技術(shù)，售出超過(guò)500個(gè)探測(cè)器。 |
| 重建方式 | 傅里葉變換 | 分區(qū)方法（直接數(shù)值積分）或模式法（多項(xiàng)式擬合） | 夏克-哈特曼波前探測(cè)器，以微透鏡單元區(qū)域的平均值來(lái)近似。對(duì)于大孔徑的透鏡單元，可能會(huì)增加信號(hào)誤差，在某些情況，產(chǎn)生嚴(yán)重影響。在分區(qū)方法中，邊界條件很重要。 |
| 光強(qiáng)度 | 由于采用傅里葉變換方法，測(cè)量對(duì)強(qiáng)度變化不敏感 | 由于需要測(cè)量焦點(diǎn)位置，測(cè)量對(duì)強(qiáng)度變化靈敏 | 關(guān)于測(cè)量精度，波前測(cè)量不依賴于光強(qiáng)度水平 |
| 使用、對(duì)準(zhǔn)方便 | 界面直觀，利用針孔進(jìn)行對(duì)準(zhǔn) | 安裝困難，需要精密的調(diào)節(jié)臺(tái) | SID4 產(chǎn)品使用方便 |
| 取樣（測(cè)量點(diǎn)） | SID4-HR達(dá)300*400測(cè)量點(diǎn) | 128*128測(cè)量點(diǎn)（微透鏡陣列） | SID4-HR具有很高的分辨率。這使得測(cè)量結(jié)果更可靠，也更穩(wěn)定 |
| 數(shù)值孔徑 | SID4 HR NA：0.5 | 0.1 | SID4-HR動(dòng)態(tài)范圍更高 |
| 空間分辨率 | 29.6μm | >100μm | SID4-HR空間分辨率更好 |
| 靈敏度 | 2nmRMS | 約λ/100 | SID4-HR具有更好的靈敏度 |
總體而言，在空間分辨率和靈敏度而言基于剪切干涉技術(shù)的波前分析儀都比夏克哈特曼為基礎(chǔ)的波前分析儀要更為優(yōu)秀。采樣點(diǎn)更多，準(zhǔn)確度更高分辨率也更高。安裝便捷，配套的軟件功能豐富?；诟道锶~變換，將時(shí)域轉(zhuǎn)換為頻域分析使得其不依賴光強(qiáng)變化，更加的敏感，但可能不能估計(jì)光強(qiáng)的變化。一定條件下，它是選擇作為激光質(zhì)量分析，透鏡質(zhì)量監(jiān)控，光學(xué)表面測(cè)量，以及成像的更優(yōu)選擇。
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