此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗(yàn)的通用開(kāi)發(fā)平臺(tái)。系統(tǒng)中包括：半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對(duì)位單元、機(jī)器視覺(jué)單元和微操作機(jī)械手單元，配套有完整的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺(jué)軟件?？梢愿鶕?jù)客戶(hù)不同的需求，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對(duì)位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗(yàn)等功能。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

說(shuō)明：

半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備特點(diǎn)：

系統(tǒng)包含完整的裝夾和對(duì)位結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶(hù)實(shí)際需求定制
控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)留有二次開(kāi)發(fā)接口
兼容客戶(hù)不同的晶圓結(jié)構(gòu)，不同的Mark點(diǎn)圖形、進(jìn)行不同的操作動(dòng)作
可對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行多維度微步調(diào)整
多工位配置，提高工作效率

系統(tǒng)參數(shù)：（本系列產(chǎn)品為設(shè)計(jì)規(guī)格，技術(shù)指標(biāo)以最終發(fā)布內(nèi)容為準(zhǔn)）

指標(biāo)	參數(shù)
機(jī)器視覺(jué)分辨率(μm)	0.1
顯微鏡倍率	0.5~4.5
攝像頭分辨率	2048×1536
幀率（fps）	15
攝像頭類(lèi)型	單色
光源	單色同軸光源
Mark點(diǎn)識(shí)別重復(fù)性(μm)	0.1
Mark點(diǎn)識(shí)別對(duì)位精度(μm)	<0.5
大行程X軸滑臺(tái)行程（mm）	400
大行程Y軸滑臺(tái)行程（mm）	200
大行程重復(fù)定位精度（μm）	1
大行程運(yùn)動(dòng)分辨率（μm）	±1
精密對(duì)位X軸滑臺(tái)行程（mm）	10
精密對(duì)位Y軸滑臺(tái)行程（mm）	10
精密對(duì)位Z軸滑臺(tái)行程（mm）	20
精密對(duì)位線(xiàn)性維度單向重復(fù)定位精度（μm）	±1
精密對(duì)位線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)分辨率（μm）	0.1
精密對(duì)位θZ軸滑臺(tái)行程（°）	5
晶圓工位（個(gè)）	2
晶圓真空吸附通道（路）	4