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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC

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廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽(yáng)市

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更新時(shí)間:2023-06-30 10:40:31瀏覽次數(shù):175次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC是一款較大型高溫感應(yīng)加熱、熔煉爐系統(tǒng),配備30KW感應(yīng)加熱器、8.5"216mm)石英管、鉸接式法蘭及閥門(mén)、石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯、16L/min循環(huán)冷水機(jī)、真空泵和移動(dòng)爐架,溫度可以達(dá)到2000(使用時(shí)石英管內(nèi)需通入保護(hù)性氣體),是生長(zhǎng)晶體、金屬熔煉和各種材料的熱處理的選擇。

2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC操作視頻

 

 

產(chǎn)品型號(hào)

    2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開(kāi)關(guān)),必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

    1采用多塊氧化鋁制作的耐火材料,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。

    2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)系統(tǒng)。

    3、溫控器采用PID方式控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

    4、配有防腐型真空計(jì),當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類(lèi)的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換,量程可到3.8×10E-5

          torr。

    5、迷你型浮子流量計(jì)精度為4%。

    6、配有雙級(jí)旋片機(jī)械泵(2L/s),可使石英管內(nèi)真空度達(dá)到10E-2torr

技術(shù)參數(shù)

 感應(yīng)加熱器

    1、工作電壓:三相AC 380V 50Hz(需60A空氣開(kāi)關(guān))

    2、工作電流:7Amps-70Amps(需100A空氣開(kāi)關(guān))

    3、功率:振蕩功率30KW,輸入功率15KW

    4、輸出頻率:30KHz-110KHz

    5、占空比:80%

    6、感應(yīng)線(xiàn)圈:內(nèi)徑Ø220 mm,高65 mm

    7、空氣冷卻:后風(fēng)扇

 溫度控制器及熱電偶

    1、工作電壓:AC208V-240V  單相

    2、控溫精度:±3

    3、熱電偶:C型,外徑Ø1/4",長(zhǎng)10"

    4、連續(xù)工作溫度范圍:1000-2000

    5、升溫速率:4/s1000-1200℃)、3/s1200-1500℃)、1/s-2/s1500-2000℃)

 石墨坩堝(易耗件)

    1、高純石墨坩堝:外徑Ø114mm,內(nèi)徑Ø100mm,高142mm

    2、容量:樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2,質(zhì)量為4kg(以鐵標(biāo)定)

    3溫層:石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料,從內(nèi)至外分別為石墨氈(可耐溫2200℃)-氧化鋁(可耐溫1700℃)-

       溫氈,總厚度為32mm

                                 

 石英管和密封法蘭

    1、石英管:兩端開(kāi)口,外徑Ø216mm,內(nèi)徑Ø208mm,長(zhǎng)500mm

    2部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭,裝有防腐型真空計(jì)、不銹鋼截止閥,設(shè)有1個(gè)1/4"的鎧裝接口(可插入熱電

        偶至石英管內(nèi)部,更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度)

    3、底部法蘭:設(shè)有KF25接口,可通過(guò)波紋管與真空泵相連接

                     

 水冷機(jī)

    1、溫度:5-30

    2、水流速:>16L/min

    3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作

    4、水壓:≥0.1MPa

    5、流量:≥5L/min

 (建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到的冷卻效果)

 真空泵

 工作電壓:AC208V-240V單相

 移動(dòng)爐架

 尺寸:700mm×1000mm×700mm,鋼框架結(jié)構(gòu),方便移動(dòng)感應(yīng)加熱器和帶法蘭的石英管

產(chǎn)品規(guī)格

 

注意事項(xiàng)

 操作前,必須仔細(xì)閱讀說(shuō)明書(shū),且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí),熔煉必須在0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行,流

 量小于200ml/min,需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過(guò)程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓,若氣壓超過(guò)安

 全值,會(huì)引起石英管開(kāi)裂、法蘭蹦出,甚至造成人身傷害。

其他事項(xiàng)

 本機(jī)可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。

  



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