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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市中圖儀器股份有限公司


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中圖儀器(chotest)3d輪廓測量儀SuperViewW1

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產(chǎn)品型號SuperViewW1

品       牌

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更新時間:2023-01-07 12:18:58瀏覽次數(shù):573次

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產(chǎn)品簡介

中圖儀器3d輪廓測量儀基于白光干涉原理,不僅用于零件的檢測,還能完成缺陷尺寸的在線檢測

詳細介紹

中圖儀器3d輪廓測量儀基于白光干涉原理,不僅用于零件的檢測,還能完成缺陷尺寸的在線檢測。測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測,具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。

參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
影像系統(tǒng):1024×1024
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
可測樣品反射率:0.05%-99%
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取
 
 

產(chǎn)品功能

1) 一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預先設置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能。
2) 測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調(diào)亮度等自動化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據(jù)ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

3d輪廓測量儀分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
 

應用

以測量單刻線臺階為例,在檢查3d輪廓測量儀的各線路接頭都準確插到對應插孔后,開啟儀器電源開關,啟動計算機,將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置,先手動調(diào)整載物臺大概位置,對準白光干涉儀目鏡的下方。

在計算機上打開SuperViewW1儀器的測量軟件,在軟件界面上設置好目鏡下行的點,再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離,調(diào)整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕,白光干涉儀可自動進行掃描測量,測量完成后,轉件自動生成3D圖像,測量人員可以對3D圖像進行數(shù)據(jù)分析,獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數(shù)。


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