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深圳市中圖儀器股份有限公司

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激光測量儀器雙頻激光干涉儀中圖儀器（chotest）SJ6000

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產(chǎn)品簡介

中圖儀器SJ6000雙頻激光干涉儀激光測量儀器具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件

詳細(xì)介紹

中圖儀器SJ6000雙頻激光干涉儀激光測量儀器具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。而在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品功能

1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
2.可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
3.可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
5.具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
6.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SJ6000雙頻激光干涉儀氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源，再加上環(huán)境補(bǔ)償器，使線性測量的精度穩(wěn)定在0.5ppm，動(dòng)態(tài)采集數(shù)據(jù)頻率高達(dá)50KHz，測量速度4m/sec，高速測量下的分辨率為1nm。架設(shè)靈活，對各種復(fù)雜結(jié)構(gòu)的機(jī)床、平臺和導(dǎo)軌都具有廣泛適用性，測量快速簡便，減少重復(fù)定位測量的時(shí)間，同時(shí)得到精確直觀的檢測數(shù)據(jù)。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀三坐標(biāo)測量機(jī) 補(bǔ)償器

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